椭偏仪-光衍未来

椭偏仪

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设备简介

测试简介
a. n（折射率）,k（消光系数）值
b. 膜厚
常规椭偏仪的光谱测试范围370到1000nm，其他范围请咨询项目经理。
膜厚的测试范围是0.5nm-10um。
样品要求
1. 样品状态：材料一般为块状或薄膜，大小无特殊要求；
2. 如果有基底的膜层结构要做折射率和消光系数，基地厚度要求越厚越好，膜层厚度要在10um以下，如果是单层膜样品，没有基底，膜厚越厚越好，最好500um以上；膜层需为透明薄膜且膜层表面均匀，基底不需要透明。
3.特殊情况需提前沟通。
常见问题
1. 关于测试光谱范围的选择？
椭偏仪的光谱范围在深紫外的142nm到红外33um可选。光谱范围的选择取决于被测材料的属性、薄膜厚度及关心的光谱段等因素。例如，掺杂浓度对材料红外光学属性有很大的影响，因此需要能测量红外波段的椭偏仪；薄膜的厚度测量需要光能穿透这薄膜，到达基底，然后并被探测器检测到，因此需要选用该待测材料透明或部分透明的光谱段；对于厚的薄膜选取长波长更有利于测量。