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海洋动密封材料CVD沉积设备
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设备简介
  • 海洋动密封材料微波等离子体CVD沉积设备
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  • 主要功能：应用于中规模的金刚石、类金刚石等多种薄膜(或单晶）的化学气相沉积(CVD)；材料表面处理和改性；低温氧化物的生长等高新科技领域。
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  • 主要技术指标：抽气流量为50-100 sccm
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  • 主要学科领域：材料科学
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  • 服务内容：样品制备
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  • 用户须知：
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