首页 项目分类 名师专家 论文服务 知识产权 未来商城 学习论坛 学习视频 健康养生 科研动态 关于我们
您的位置： 首页 > 设备预约
电子束曝光系统
立即预约
附件下载
设备简介
  • 主要功能：基于扫描电镜安装的电子束曝光系统，利用电子束对传统抗蚀剂的曝光作用，加工出图形分辨率高、线条边缘陡直的微纳尺寸图形；它由硬件和软件组成。PC机通过图形发生器和数模转换电路驱动扫描电镜的扫描线圈，使电子束偏转并控制电子束闸的通断，从而实现纳米图形的直接刻写。
  •  
  • 主要技术指标：PCI板嵌入系统，2.5 MHz像素到像素频率； 2 *16 bit DAC，10 bit、0.5微秒AD通道用于图像获取； TTL驱动电子束闸控制。
  •  
  • 主要学科领域：自然科学相关工程与技术
  •  
  • 服务内容：
  •  
  • 用户须知：
仪器列表
更多
球差电镜（AC-TEM）
2023-02-17
Zeta电位仪
2023-02-22
冷冻电镜（Cryo-TEM）
2023-02-17
SEM扫描电镜
2023-02-19
原子力显微镜（AFM）
2023-02-19
TEM透射电镜
2023-02-19
FIB-聚焦离子束系统
2023-02-19
XPS（X-射线光电子能谱仪）
2023-02-19
XRF（X射线荧光光谱仪）
2023-02-19
XRD (X-射线粉末衍射仪）
2023-02-19
APPOINTMENT
设备预约
提交申请后，我们会在1个工作日内联系您
*单位名称：
*联系人：
*联系电话：
*预约内容：
*附件上传：
*备注：
立即预约
网站导航
网站首页
计算模拟
设备预约
共享仪器
论文服务
名师专家
学习论坛
新闻动态
关于我们
联系我们
联系我们
400-668-9971
邮箱：zhangguannangywl@163.com
地址：陕西省西安市雁塔区逸翠园i都会1925
关注•光衍未来
扫一扫关注我们
L•I•N•K
友情链接
  用户条款  隐私协议  版权所有@2022 陕西光衍未来信息科技有限责任公司
备案号：陕ICP备2022014572号-1
技术支持：云浪科技