半自动8英寸探针台-光衍未来

半自动8英寸探针台

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设备简介

主要功能：在片测试时,能有效地屏蔽光及电磁波干扰,且可在-55~300度的环境下进行直流IV/CV参数（漏电流为fA级）提取;或可以进行S参数（频率可高达110GHZ）的测试；更详细地了解器件的性能
主要技术指标：1. 8英寸半自动探针台； 2. 微暗室拥有最低20dB 0.5-3 GHz、小于-170 dBVrms/rtHz（≤50KHz）、小于5mVp-p (≤ 1GHz)的系统AC噪声、光强衰减大于120dB； 3. 高低温环境可实现-60°C至300°C的温度变化，均匀性为+/-0.1°C； 4. 载物台在X-Y方向： 1μm 分辨率、小于2μm 重复精度、大于50mm/sec的移动速度；在Z方向：5mm的移动范围、1μm 分辨率、小于1μm 重复精度；在Theta方向：+/-5.5度； 5. 可以实现通过软件对晶片载台X、Y、Z、Theta 四个方向的移动全程控制。可提供自动晶片水平校准，自动器件尺寸测量，自动移动误差补偿，远程控制等自动化功能； 6. 机台台面可实现独立的上升或下降，且移动范围大于10mm；移动重复精度≤ 3 μm；
主要学科领域：自然科学相关工程与技术
服务内容：主要应用在半导体/微电子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMs，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。
用户须知：