193nm激光剥蚀系统-光衍未来

193nm激光剥蚀系统

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设备简介

主要功能：为ICPMS分析提供气体进样系统
主要技术指标：1．激光源 1.1 193nm空气冷却气态准分子激光源，激光源寿命不少于5亿次 1.2 脉冲宽度： 20ns； 1.3 脉冲稳定性：<2%； 1.4 能量密度：1-45 J/cm2； 1.5 剥蚀频率：1-20Hz； 1.6 剥蚀模式：四种激光剥蚀模式可以任意切换，Single Shot, Burst, Continuous, fixed dosage四种模式； 1.7 剥蚀斑点尺寸：2 um to >175um 1.8 光斑：不少于30个剥蚀光斑可选，其中包括不少于20个圆形光斑，6个方形光斑和4个狭缝光斑。通过软件选择不同斑点，并且能够在剥蚀过程中进行不同斑点更换； 2．激光系统 2.1 软件控制激光能量输出，连续调节光学衰减器调节激光能量，最大100%输出； 2.2 内置激光能量监视器，PID实时闭环监控能量输出； 2.3 光路传输图： 2.3.1 电磁阀和软件控制氮气吹扫光路，能够自动关闭； 2.3.2 简单的光路传输路线（up，over and down）插入“转向”镜，可精确准直光路；无需更换光学镜片； 2.4 同步动态剥蚀功能：控制台优先的同步触发，能够控制击发能量和线和点阵的深度剥蚀扫描； 2.5 动态光束匀化器：平整的剥蚀坑，能量损失小； 2.6 光学衰减器：连续可调光学衰减器，可以柔和调节激光能量1-100%； 2.7 激光系统一键充气保护； 3．视频光路 3.1岩相学高倍视频显微镜系统： 3.1.1 48X 连续可调的缩放的GigE vision接口彩色高倍摄像机系统； 3.1.2 观察系统光学分辨： <2um； 3.1.3激光同轴视频观察系统，能够使用十字交叉偏振系统反射照明光，达到自由无失真观察； 3.2 照明：软件调整同轴，透射和泛光照明三光源，标配消除色差装置； 3.3 偏振系统：旋转十字交叉偏振系统； 3.4 系统可以升级为飞秒激光剥蚀系统； 3.5 更换样品后，可以生成多个样品导视图动态图层，并可以激活/隐藏任意图层，便于快速引导分析。 4．取样系统 4.1 样品台X-Y轴参数：行程100mm X, 100mm Y；步进分辨率<1um； 4.2 样品台 Z 轴参数：行程50mm Z，步进分辨率<0.1um； 4.3 可选样品室切换模式：静态，动态（同步动态剥蚀功能）； 4.4 样品台：预防震动的减震装置，避免环境/温度变化对光路影响，具有超级稳定的光路结构； 4.5 系统支持同步动态剥蚀功能（mapping功能），样品台移动对激光提供两种触发方式，静态 STATIC 和动态 DYNAMIC触发激光； 5. 系统支持多种样品池（双气路双体积样品池，扁平大体积样品池，超低温样品池，高真空样品池） 5.1 标配双体积（大样品池+小剥蚀池）样品池； 5.1.1 双体积样品池，尺寸不小于100mm*100mm方形，冲洗效率1Hz时<1S内达到0.10%，或者<0.25S内达到1%； 5.1.2 池内能够同时放置4个薄/厚样品，另外2个标准品或者9个直径1英寸圆形样品和2个标准品，支持用户自行设计样品载物台； 5.1.3 样品池包含10通道squid滤波配件； 5.1.4 样品池吹扫可单独（或同时）用He，Ar，内置真空泵抽气； 5.1.5 大样品窗内侧具有自清洁功能，无样品污染； 5.1.6 剥蚀池具有独立的样品窗，防止样品外溢到大样品池内
主要学科领域：地球科学
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