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半自动涂胶显影台
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设备简介
  • 主要功能:涂布光刻胶、显影、去胶
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  • 主要技术指标:"最薄匀胶厚度:1um膜厚均匀性:±1%显影分辨率:0.4um显影均匀性:±3%"
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  • 主要学科领域:物理学
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  • 服务内容:涂布光刻胶、显影、去胶
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