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八寸半自动探针台
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设备简介
  • 主要功能：新型Cascade Summit200先进的200mm探针台对于尽可能快地收集单个或大量晶圆高精度测量数据至关重要。 Summit200为研发、器件表征、建模或小批量生产而设计，确保低噪声、DC、RF、mmW和THz的精确测量，确保以最快的速度获取精确数据，可提供半自动或全自动方案。
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  • 主要技术指标：载物台尺寸200mm向下兼容，载物台X-Y行程203mm*203mm，载物台X-Y轴分辨率0.2μm，载物台X-Y轴重复性小于等于1.5μm，温度范围-60~300℃等。
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  • 主要学科领域：电子与通信技术
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  •  服务内容：半导体参数测量，反馈电压-电流分析，带记录装置，测试结果显示电压值，电流值，电容值等。
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  •  用户须知：
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