- 主要功能:飞纳台式场发射扫描电镜能谱一体机标配背散射电子成像、二次电子电子成像和能谱分析功能,可对各种样品进行高分辨成像及元素分析。能量色散谱采用稳定坚固的超薄 Si3N4 窗口,元素检测范围 B (5) ~ Am (95),对轻元素检测和低电压能谱分析更具优势。Phenom Pharos 低电压成像优势明显,可减轻电子束对样品的损伤和穿透,最大程度还原样品真实形貌。
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- 主要技术指标:① 光学放大倍率:20~135倍; ②电子放大倍率:最高1,000,000倍; ③电子光学分辨率:优于1.8nm@15KV SED; ④电子枪加速电压:2kV~15kV连续可调; ⑤元素探测范围:B(5)~Am(95);
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- 主要学科领域:材料科学
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