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原位真空光电测试系统
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设备简介
  • 主要功能:可在真空环境下探测微米级FET器件的电输运和荧光光谱
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  • 主要技术指标:真空度:优于1*10-7mbar;电流:nA量级;温度:-196℃(液氮制冷)-100℃;荧光范围:300nm-1060nm
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  • 主要学科领域:物理学
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  • 服务内容:荧光光谱和OFET输运性能测试
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