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辉光放电发射光谱仪
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设备简介
  • 主要功能:用于渗碳渗氮材料、金属镀层、半导体、涂层的表面深度定性、定量分析 和金属材料成份分析。目前,仪器配置的定量分析方法如下: ●硅片或二氧化硅上CuInGaSe等深度分析; ●硅片或二氧化硅上SiC,TiB,VC,VN等深度分析; ●锂电池深度分析; ●钕铁硼材料深度分析; ●渗碳渗氮材料深度分析。 ●钢铁材料成份定量分析:针对高、中、低合金钢和工具钢的定量分析方法。
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  • 主要技术指标:光源:有DC光源(用于导体材料样品测试)和RF光源(用于含有非导体材 料样品测试),最大功率300W,2W可调; 光栅:凹面全息光栅,焦距0.75米,2400线/mm; 波长范围:119nm~800nm; 分辨率:优于0.024nm; 溅射速率: 2~5µm/min; 深度剖析的范围:1nm~200µm; 检出限:钢铁中C,S,P,N的检出限不大于5ppm。
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  • 主要学科领域:材料科学
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  •  服务内容:表面深度分析(GD-OES),本项目非资质认定(CMA)和实验室认可(CNAS)范围项目,报告仅对委托方负责。,钢铁成分分析(GD-OES)
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  • 用户须知:
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