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100mm口径激光干涉仪
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设备简介
  • 主要功能：用于平面光学元件的表面平面度超精密测量，透过波前误差测量，平行度测量。
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  • 主要技术指标：透射标准镜：320mm口径 S1:PV λ/4（1λ=632.8nm） S2:PV λ/12（1λ=632.8nm） 3.反射标准镜：320mm口径 单面:PV λ/12（1λ=632.8nm）
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  • 主要学科领域：材料科学,电子与通信技术,工程与技术科学基础学科
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  • 服务内容：用于平面光学元件的表面平面度超精密测量，透过波前误差测量，平行度测量。
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  • 用户须知：
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