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TCP刻蚀机
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设备简介
  • 主要功能：用于Si、GaN、蓝宝石等材料的干法蚀刻
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  • 主要技术指标：TCP刻蚀机的刻蚀分辨率：100nm；基片尺寸：2英寸、4英寸；
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  • 主要学科领域：材料科学
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  • 服务内容：Si、GaN、蓝宝石等材料图形化蚀刻
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  • 用户须知：预约使用
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