应用于半导体材料、生物材料、高分子材料等研究领域。可以对各类薄膜样品，如半导体材料、光电材料、磁性材料的表面平整度及表面拓扑结构表征；可以对高分子材料、有机材料、橡胶等进行表面力学特性，如杨氏模量、粘滞力、耗损进行定性定量分析；可以对生物样品，如细胞、蛋白质、组织等样品进行快速扫描，检测生命体的反应过程。