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新型等离子体发生装置
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设备简介
  • 主要功能:直线等离子体装置(LPD) 主要由:等离子体源(Plasma Generator,用于产生等离子体)、磁约束系统(Magnetic Confinement,用于约束和维持直线等离子体)、真空系统(Vacuum Pumps,用于产生所需真空及真空检测)、等离子体诊断系统(Diagnostics,用于测量所产生的等离子体参数)、以及电源和其他辅助系统等部分组成。各磁体可独立调整和控制,充分满足构建不同磁场的要求,提供足够的操控灵活性。 LPD是产生和维持直线段稳态等离子体,可用各种控制和诊断手段研究等离子体的各种输运过程、不稳定性和边界物理等;也可研究等离子体与材料的相互作用的基础问题,如材料的物理溅射和化学刻蚀、材料中氢和氦滞留、起泡问题、等离子体破裂对材料的影响模拟等。研究领域可覆盖高密度的托卡马克边界等离子体和材料相关研究,以及低密度的空间等离子体研究等。
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  • 主要技术指标:等离子体密度(螺旋波天线源) 1011~1012cm-3 。(本次要求) 等离子体密度(LaB6离子源) 1012~1013cm-3 。(升级后要求) 束流密度(LaB6离子源,样品台中心直径1 cm内) ?1?1022m-2s-1 工作气压~0.1Pa时,本底真空度<10-6Pa 输运真空室长度2000mm,真空室内径=300mm 轴向磁场(直径ф=0.5Φ内)>2000G,磁场轴向均匀度(中间1m范围)≈5%,磁场径向均匀度(直径ф=0.5Φ内)≈5% 导线采用水冷铜导线,每线圈采用一根导线绕制而成;线圈内径:Φ?410mm 束流密度(LaB6离子源,样品台中心直径1 cm内) ?1?1022m-2s-1 LaB6等离子体源采用钨丝加热元件,低压电流≈100A,加热时LaB6阴极温度需至1600°C左右,充入工作气体到0.1?1Pa时,阴极与周围阳极间发生电弧放电产生等离子体,弧电压小于100V,电流安培量级 线圈用电源10台,每台10KW。 射频螺旋波天线电源一台,功率500?3000W可调。 样品台电源1台(300V,1A);
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  • 主要学科领域:材料科学
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