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光学轮廓仪
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设备简介
  • 主要功能:光学轮廓仪在0.1nm 到 10mm 的垂直扫描范围内提供了非接触式高速高精度三维表面测量.
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  • 主要技术指标:1、纵向扫描范围:0.1nm~1mm (标配) 2、垂直扫描速度:25um/s 3、样品台尺寸:200mm
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  • 主要学科领域:机械工程
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