半自动手动探针台-光衍未来

半自动手动探针台

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设备简介

主要功能：探针台具备支持直流/高频段射频微波测试、测试精度高、准确重复性好、系统集成能力强、性价比高等特点，能满足本项目对IV\CV及高频到110GHz RF特性测试的要求。
主要技术指标：1.载片台 1.1载片台尺寸不小于Φ210mm，可支持晶元、芯片及单器件进行IV/CV测试，RF测试，RF最高可升级支持1.1THz频率测试。 1.2 载片台支持器件尺寸，晶元Φ50mm-Φ200mm，单颗器件最小尺寸4mm*4mm。（最小器件正常都是正方形） 1.3 包含两个独立辅助载片台，尺寸不小于25mm*25mm,平坦度≤±5μm。 1.4 载片台采用完全独立的真空孔吸附，可分区吸附样品，并具备不少于4档分区独立真空控制开关。 1.5 xy方向移动范围：≥25×25mm，分辨率≤1μm，包含千分尺精细调节方式。 1.6 Y轴取放片行程≥90mm 1.7 Z轴可调范围0-20mm，调节分辨率＜1.0μm 1.8.载片台360°旋转，精细调节范围≥±5° 2.针座平台 2.1针座平台材质采用不锈钢，表面镀镍。 2.2平台至少可容纳4个射频针座或者8个直流针座。 2.3平台可升降，z方向可移动范围：0-3mm。 2.4扎针一致性好，操作重复性≤1μm 2.5 Z方向接触分离高度小于等于300μm 2.6 兼容keysight/VDI/R&S等主流扩频模块。 3.显微镜系统 3.1采用单筒式高分辨率显微镜，含LED同轴光源 3.2 变焦比：不小于3.3x 3.3放大倍率范围不小于1.25-15倍，光学分辨率不小于1.6μm，综合放大倍率不小于400倍。 3.4 显微镜XY方向可独立移动，移动范围≥50mm×50mm，Z方向移动范围不少于140mm高度，显微镜支架采用高稳定桥式支架。 3.5 含高清CCD，像素≥500万，配到连接CCD的显示器，可以实现图像的截屏、翻转、颜色处理等功能。 4.探针座、探针、光纤夹具及电缆 4.1 包含4套直流探针座，采用磁性吸附设计，XYZ方向行程均≥12.5mm 4.2 包含4套射频探针座，2套最高可兼容110GHz，两套最高可兼容67GHz。采用磁性吸附设计，XYZ方向行程均≥12.5mm。 4.3包含2根WR-10波导管。 4.4包含2根WR-15波导管。 4.5包含直流探针4盒，每盒25根，针尖半径7μm 4.6提供配套的探针及校准片。2根射频波导探针为75-GSG-100-BT，2根射频波导探针为120-GSG-100-BT，射频探针的信号排布为GSG。 4.7提供定制光纤夹持器，光纤角度可调节，兼容探针台及探针座。 4.8包含2组扩频模块连接套件，支持同轴或波导连接方式，可通过针座控制XYZ移动，X/Y/Z方向移动范围≥25mm/25mm/15mm，且扩频模块连接套件必须能够搭载扩频模块和探针一起实现Theta的旋转调整 5.屏蔽防震系统 5.1 屏蔽箱可以实现遮光、EMI屏蔽、高低温温控，防止静电噪声对测量的影响。 5.2 EMI屏蔽性能：≥30dB(typical)@1kHz to 1MHz 5.3 光衰减性能：≥130dB 5.4 光谱噪声基底：≤-180dBVrms/rtHz(≤1MHz) 5.5系统交流电噪声 ≤ 5 mVp-p (≤ 1 GHz) 5.6屏蔽指标是对应的机型。 6.校准软件 6.1 配置同品牌专业的校准软件，可以实现独有的1、2、3、4端口校准，和即时的、实时的数据测量和观察。 6.2 支持slot等形式的多线路TRL校准。 7.正压干燥系统及真空泵 7.1系统带有无油涡旋（非活塞式）进口空气压缩机，外形尺寸≤1275mm*700mm*1450mm(包含储气罐)；排气量≥0.17m3/min、工作压力≥8bar、噪声≤53dB(A)，含有冷却系统，储气罐含量≥270L。 7.2 系统采用进口膜式多级过滤干燥机，外形尺寸≤380mm*81mm；处理量≥0.14 m3/min、工作压力≥1.3bar、压力露点≤-20°C、出口粒子≤0.01微米、出口含油量＜0.001mg/ m3、重量≤5kg。 7.3 提供无油免维护真空泵，空气流量达120L/min，噪音不超过60dB。 8.气浮式光学隔振平台。 8.1隔振平台尺寸不小于1000mm×900mm×100mm，采用不锈钢面板，阵列25mm×25mm M6螺孔。 8.2 提供无油空压机一台，减压阀一支。
主要学科领域：自然科学相关工程与技术
服务内容：涉及电力电子、新能源、通信等多个领域的研究。
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