设备简介
分辨率：指像素点的大小，比如200nm分辨率，就是图片中一个像素点的大小是边长200nm的正方形；假设想要看到的最小特征尺寸是“x µm”，需要使用至少 “0.5x µm”分辨率。
样品尺寸：样品尺寸越大，能做的分辨率就越低。
| 分辨率 | 高度和直径（mm） | 分辨率 | 高度和直径（mm） |
| 200nm | 0.7 | 800nm | 3.1 |
| 300nm | 1.1 | 900nm | 3.5 |
| 400nm | 1.5 | 1um | 4 |
| 500nm | 1.9 | 2um | 4 |
| 600nm | 2.3 | X>2um | 2X |
| 700nm | 2.7 | 工业CT：X um | X |
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