微区XRD可以测试指定某个区域的XRD谱图，但是测试区域需要大于等于0.5 mm，不能太小。另外测试角度范围默认是5-90 °,其他角度需要先和老师沟通后再做决定。比如需要测试块体样品（尺寸要求是长宽一般1-2 cm，厚度不超过5 mm)上面某一个或一些小区域的XRD，就可以用微区XRD来测试。

微区XRD原理跟一般XRD一样，只是beam很小是微米级，因此可以准确研究不同区域内的晶相结构。微区XRD的x射线束斑更小些(这个通过调节狭缝可以实现)。而一般的XRD的束斑面积在几十个微米见方。微区衍射可以应用于许多衍射研究，包括以下表征:样品上具有巨大梯度成份的小斑点，例如，污染物、夹杂物、矿物样品、法医样品、古代绘画的微小横截面、考古样本、冶金工件、工具嵌件和图案化晶片