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FIB-SEM双束扫描电镜
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设备简介
  • 主要功能:Crossbeam 550配备Gemini II • 配备双聚光镜系统可在低电压下试用大束流获得高分辨图像。通过高分辨图像获取和快速分析可在更少的时间获得更多信息。同时试用Inlens SE 和 EsB探测器同时获取形貌和成分图像 Tandem decel 模式现可用于蔡司Crossbeam 550,可用于两种不同的应用模式: Tandem decel 是一种两步式电子束减速模式,将“电子束推进器;技术与高负偏压技术相结合:通过对样品施加一个高的负偏压使入射电子减速,从而有效降低着陆能量。通过在50V和100V之间施加可变的负偏压来增强衬度, 通过施加1kV至5kV的反向负偏压来实现低电压分辨率的提高 FIB加工的新方法 蔡司Crossbeam系列新一代聚焦离子束镜筒,可以在极低的电压下实现高速率、大束流的样品处理,并保持样品质量 , 利用Ion-sculptor FIB镜筒的低电压特性尽可能提高样品质量 ; 尽可能减少样品的非晶化,以在减薄后保持良好的结果 ; 良好的稳定性帮助您获得精确、可重复的实验结果; 探针电流的快速切换极大地加速您的应用; 高达100nA的束流帮助您实现高效实验; 可实现低于3nm的优异分辨率 ; Crossbeam系列具有FIB束流自动恢复系统,从而满足长周期实验的需要。 
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  • 主要技术指标:扫描电子束系统:Gemini II镜筒 样品仓尺寸和接口:1、可选Tandem decel;2、标准样品仓有18个扩展接口或者加大样品仓有22个扩展接口 样品台:X/Y方向行程:标准样品仓100mm加大样品仓153 mm 荷电控制:1、荷电中和电子枪;2、局域电荷中和器 探测器:Inlens SE 和 Inlens EsB可同时获取SE和ESB成像 特点:高效的分析和成像,在各种条件下保持高分辨特性,同时获取Inlens SE和Inlens ESB图像;大尺寸预真空室可传输8英寸晶元;
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  • 主要学科领域:生物学
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  •  服务内容:Crossbeam 550配备Gemini II ; 配备双聚光镜系统可在低电压下试用大束流获得高分辨图像。 通过高分辨图像获取和快速分析可在更少的时间获得更多信息。同时试用Inlens SE 和 EsB探测器同时获取形貌和成分图像 Tandem decel 模式现可用于蔡司Crossbeam 550,可用于两种不同的应用模式: Tandem decel 是一种两步式电子束减速模式,将电子束推进器技术与高负偏压技术相结合:通过对样品施加一个高的负偏压使入射电子减速,从而有效降低着陆能量。通过在50V和100V之间施加可变的负偏压来增强衬度; 通过施加1kV至5kV的反向负偏压来实现低电压分辨率的提高 FIB加工的新方法 蔡司Crossbeam系列新一代聚焦离子束镜筒,可以在极低的电压下实现高速率、大束流的样品处理,并保持样品质量; 利用Ion-sculptor FIB镜筒的低电压特性尽可能提高样品质量; 尽可能减少样品的非晶化,以在减薄后保持良好的结果 ; 良好的稳定性帮助您获得精确、可重复的实验结果; 探针电流的快速切换极大地加速您的应用; 高达100nA的束流帮助您实现高效实验; 可实现低于3nm的优异分辨率; Crossbeam系列具有FIB束流自动恢复系统,从而满足长周期实验的需要。
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