聚焦离子束微纳加工系统-光衍未来

聚焦离子束微纳加工系统

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设备简介

主要功能：主要功能：光学工程、物理、材料、化学、微电子等领域所需的亚微米和纳米尺度的高精度微纳加工和结构制备
主要技术指标：电子束系统：分辨率：优于3nm 电子加速电压:200V-30kV 电子束流：最大束流不小于10nA 离子束系统：分辨率：优于7nm 离子加速电压:2-30kV 离子束流：1pA-1nA
主要学科领域：材料科学
服务内容：应用范围：基于玻璃、光学晶体、氧化物等介质材料的低维纳米线、条、孔等导波结构的精密制备；纳米尺度的金属表面等离子体共振结构、导波结构、衬底结构的制备和加工；亚波长量级的光子晶体结构、负折射率材料结构的加工制备；氧化物半导体纳米结构的高精度表面处理、结构加工和制备；其他无源和有源纳米光子结构和材料的制备和改性本设备可实现共享的学科：该设备镜购置之后，可以为材料、物理、化学、生物、光电等院系的大量纳米技术研究人员提供微纳结构的加工和制备服务
用户须知：无