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电子束蒸发台
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设备简介
  • 主要功能：蒸发材料，Ti,Ni,Ag,Al,Au,Pt等
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  • 主要技术指标："1、U%（WIW）片内均匀性：≤2.5%（单层Single layer Ti，Ni，Au，Pt，Al，Thickness=1000 Å）；WIW=（MAX-MIN）/(2*AVG)；2、U%（WTW）片间均匀性：≤2.5%；WTW=（MAX-MIN）/(2*AVG)；3、U%（RTR）批间均匀性：≤2.5%；RT=（MAX-MIN）/(2*AVG)；4、Single dome capacity单个镀锅装载量：≥40pcs (4”)；"
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  • 主要学科领域：物理学
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  • 服务内容：用于蒸发材料，Ti,Ni,Ag,Al,Au,Pt等
  •  
  • 用户须知：无
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