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高分辨透射电子显微镜
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设备简介
  • 主要功能:主要用于固体材料的表面元素成份及价态的定性、半定量分析,固体表面元素组成的深度剖析及成像。可应用于金属、无机材料、催化剂、聚合物、涂层材料矿石等各种材料的研究,以及腐蚀、摩擦、润滑、粘接、催化、包覆、氧化等过程的研究。
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  • 主要技术指标:1.XPS 能量分辨率:0.48eV/(Ag 3d5/2) 0.68eV/(C 1s) 最小分析区域(收谱) <15μm 灵敏度:大面积 11,800kcps 110μm 1,800kcps 27μm 100kcps 成像空间分辨率:小于3μm 2.UPS 能量分辨率:Ag表面费米边在20%到80%结合能差不高于120meV 灵敏度:Ag 4d峰不低于1,000kcps 3.AES 灵敏度: 大于500kcps(10kV/5nA时Cu的LMM峰) 信噪比:500:1 4.SEM 分辨率:在10kV/5nA时优于100nm 在3kV/5nA时优于300nm
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  • 主要学科领域:物理学
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  • 服务内容:XPS宽谱、高分辨谱、成像、刻蚀等测试
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  • 用户须知:
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