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双束扫描电镜FIB2
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设备简介
  • 主要功能：聚焦离子束（FIB）扫描电镜可在纳米尺度利用离子轰击样品表面，实现材料的剥离、沉积、注入等加工工艺，同时还具有扫描电子显微镜（SEM）的成像功能、TEM透射电镜样品制备、薄膜断面样品制备、二次电子成像、背散射电子成像、EDS能谱分析、微纳加工等功能。
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  • 主要技术指标：分辨率：电子束：0.6nm@15kV（最佳工作距离）；
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  • 主要学科领域：材料科学
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  • 服务内容：分析检测、技术咨询，需要提前预约
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  • 用户须知：
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