高分辨单色化X射线光电子能谱仪-光衍未来

高分辨单色化X射线光电子能谱仪

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设备简介

主要功能：1. 该系统通过测量不同元素的芯能级，能够实现高精度的元素和价态分析。 2. 该系统使用X-射线作为光源，能够采集较大束缚能范围的光电子能谱数据，实现对材料电子结构的完整表征。 3. 该系统具备微区分析功能，可以针对微米级别的特定区域开展元素组分与电子结构分析，是目前观测薄膜样品元素和价态分布，进而探索其生长机理最有力的工具之一
主要技术指标：1、本底真空度优于5*10-10mbar； 2、单色化AlKαX射线源，光斑尺寸200-900um，大光斑极限分辨率0.43eV； 3、XPS能谱分析尺寸20-900um，平行成像精度1um； 4、双极性半球形分析器，可采集ISS离子散射谱，能量分辨率优于12eV； 5、配备同轴/离轴双电子枪，可用于磁性和非磁性绝缘样品的荷电中和测量，最佳能量分辨率0.68eV； 6、配有Ar离子刻蚀和团簇离子刻蚀，可用于不同敏感性材料的深度剖析； 7、配有反射电子能量损失谱（REELS）,可用于氢元素的定量分析； 8、配有俄歇光电子能谱分析（AES），空间分辨率可达95nm，并能够实现相应的形貌表征功能（SEM）。
主要学科领域：材料科学
服务内容：针对微米级别的特定区域开展元素组分与电子结构分析
用户须知：