- 主要功能：X、Y：0.2nm，位置调整分辨率0.1μm面内角5μrad
- 主要技术指标：器件表面检测分辨率优于10μm
- 主要学科领域：航空、航天科学技术
- 服务内容：
- 用户须知：
设备简介
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2023-02-17
2023-02-22
2023-02-17
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