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高分辨扫描电子显微镜
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设备简介
  • 主要功能:微区形貌分析,分析和检测有机和无机材料微纳米级样品的表面特征形貌。广泛应用于高分子材料、半导体材料、化工原料、地矿物品、金属材料等领域。 微区成分分析,配置的高灵敏能谱探头是水平放置于电镜极靴正下方,探头由四个独立的硅漂移芯片组成,特别适用于在低束流下分析束流敏感样品,比如生物或半导体样品;分析表面不平整样品,可消除阴影效应;在低加速电压和高放大倍数下,分析纳米颗粒和纳米结构。
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  • 主要技术指标:1、二次电子分辨率: 0.7 nm (加速电压 15 kV,工作距离4 mm) 0.9 nm (着陆电压 1.0kV,工作距离1.5 mm)(减速模式) 2、放大倍率:20x~1,000,000x 3、加速电压:0.5 kV~ 30 kV 4、工作距离:1.5mm~40mm 5、能谱元素分析范围:Be4-Cf98 6、能谱分辨率:Mn Ka优于129eV
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  • 主要学科领域:材料科学
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  •  服务内容:需要提前进行测试预约,并与管理员确认测试内容
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  •  用户须知:
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