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特种掺杂硅单晶生长炉
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设备简介
  • 主要功能：生长各类不同掺杂的直拉单晶硅
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  • 主要技术指标：一次性多晶硅投料量不超过25kg，生长的直拉硅单晶直径不超过200 mm。
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  • 主要学科领域：自然科学相关工程与技术
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  • 服务内容：
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  • 用户须知：无
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