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磁控溅射阴极电弧镀膜装置
高离化率磁控溅射复合受控阴极电弧镀膜装置
主要功能：材料表面镀膜专用实验设备
主要技术指标：操作温度：5-50度 压力：0.05-0.3MPa
主要学科领域：材料科学
服务内容：材料表面镀膜专用实验设备
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原子层沉积设备
主要功能：1）可沉积氧化铝，氧化钛，氧化硅，氮化钛等薄膜，对非平面结构实现均匀的共型薄膜覆盖； 2）2路直抽管路，反应源瓶不可加热，管路可加热到最高200度，用于高蒸汽压反应源，如H2O和铝源TMA； 3）1路直抽管路，反应源瓶和管路均可加热到最高200度，用于室温下低蒸汽压反应源，如硅源SAM.24； 4）1路氮气鼓泡管路，反应源瓶和管路均可加热到最高200度，用于加热也不能获得高蒸汽压的反应源，如钛源TTIP； 5）300W的CCP等离子体源可将氨气或者氧气解离生成活性基团，注入反应腔参与ALD的反应，再100度下可获得致密薄膜； 6）原位椭偏仪可对整个ALD的过程进行监控，可使沉积停止于目标厚度；
主要技术指标：通过加热方式或者等离子体方式，进行原子层沉积氧化物和氮化物薄膜； 1）配置有4路液体源注入,其中 2路直抽管路，管路可加热到最高200度，反应源瓶不可加热； 1路直抽管路，反应源瓶和管路均可加热到最高200度； 1路氮气鼓泡管路，反应源瓶和管路均可加热到最高200度； 2）配置有300W的CCP等离子体源和两路反应气体，分别是氨气和氧气，通过等离子体解离后注入反应腔； 3）衬底可加热到最高300度；
主要学科领域：工程与技术科学基础学科
服务内容：主要用于对复杂3D形貌的结构进行保型性薄膜覆盖，如对MEMS或者先进的微电子器件中很高的深宽比的沟槽内壁的填充和覆盖；对纳米线或者纳米管等的外壁进行覆盖等；也可用于形成高质量的高介电常数薄膜（氧化物）或者金属接触层薄膜（氮化物）；还可用于形成高质量的叠层薄膜结构，实现光学的性能。
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小角X射线散射仪
主要功能：研究物质在纳米尺度上（1-100nm）的几何结构，测定散射体的形状、尺寸及其分布。适用于从液体到固体的多种形态，可以得到诸如纳米粒度分布、形貌、结晶、取向、比表面等纳米结构信息，以研究物质性能与其结构的关系，以及在不同加工条件下的动态结构变化。可以测量的材料范围非常宽。如：聚合物、胶体、液晶、纤维、金属以及生物材料。对样品的适用范围非常宽，一般情况下，液体、粉末、薄膜、块体材料，甚至活体都可以测试；在研究液体时最为方便。
主要技术指标：温度测量范围：-100℃~320℃ 光源类型：高亮度微焦斑固定靶点光源，靶材Cu,功率30W 最大功率密度≥8.0 KW/mm2 靶上焦斑直径≤30μm 小角探测器信号采集面积：70mm×83.8 mm 广角探测器信号采集面积：83.8 mm×33.5mm 点扩散函数PSF≤1个像素 探测器量子效率≥98% 升降温速率：0.1-100℃/min 2θ角度范围：0.03°至60°二维图谱 实际测试的样品纳米粒径尺寸：≥250 nm
主要学科领域：化学、材料
服务内容：小角散射SAXS、广角散射WAXS、 原位变温散射、 原位拉伸散射、 掠入射GIWAXS
用户须知：一、请用户联系管理员填写测试样品检测委托单，管理员根据测试需求安排测试。 二、送验的样品应具有代表性并满足分析测试要求，如需要本平台制样，则需提供足够数量的样品，本平台依制样的难易程度，酌情进行收费。 三、贵重样品、有毒或有放射性的危险样品，容易变质和损坏的样品，有磁性的样品和易磁化的样品请在测试委托单中说明，必要时请注明保管条件。 四、检验费按平台规定收取。一般本平台在收到样品后5个工作日进行测试；测试完成5个工作日出具检验结果。成分复杂、难处理或检测方法不明确要做试验探索的，会适当延长检验时间。要求本平台加急出示测试结果的，平台将收取加急费用。 五、对于有长期测试需求的用户，可签订委托协议，具体事宜请与联系人联系。 六、本平台郑重声明：严守秘密，保护委托方所有权包括专利权、技术秘密、商业秘密等不受侵犯。
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铣车复合加工中心
主要功能：可对复杂的曲面进行高精度的加工
主要技术指标：大回转直径658 mm / 25.91 in大加工直径658 mm / 25.910 in大棒材加工能力 (受卡盘影响) 65 mm / 2.6 in大加工长度1011 mm / 39.800 in
主要学科领域：机械工程
服务内容：可对复杂的曲面进行高精度的加工
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特种玻璃拉丝塔
主要功能：此设备适用于硫系玻璃光纤拉制
主要技术指标：拉丝直径0-50mm，拉丝温度0-1000度
主要学科领域：材料科学
服务内容：此设备适用于硫系玻璃光纤拉制
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智慧工厂系统与数据管控系统
智慧工厂制造执行系统与数据管控系统
主要功能：可进行MES系统、ERP系统、数字制造数据管理系统、云服务平台和互联网工厂等实训项目的操作，培养学生在MES、ERP和云平台等智慧工厂相关软件的设计能力以及云制造、工业互联网等实训项目。
主要技术指标：总控系统1套，数据采集系统1套，MES软件1套，ERP软件1套，数字制造数据管理平台软件1套，大数据云服务平台。
主要学科领域：机械工程
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轨道交通空调焓差试验室
主要功能：轨交车辆空调性能测试、冷量测试
主要技术指标：轨交车辆空调性能测试、冷量
主要学科领域：动力与电气工程
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S4800场发射扫描电镜冷场
S4800场发射扫描电镜冷场(SEM2)
主要功能：观察材料表面的微细形貌、断口及内部组织，并对材料表面微区成分进行定性和定量分析。
主要技术指标：l、次电子分辨率： 1.0nm (15kV)； 2.0n（1kV)； 1.4nm (1kV减速模式) 2、背散射电子分辨率：3.0 nm (15 kV) 3、加速电压：0.5～30kV 4、电子枪：冷场发射电子源 5、放大倍率：30～800,000倍 6、X射线能谱仪的元素分
主要学科领域：材料科学
服务内容：分析测试
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