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球差电镜（AC-TEM）
研究在变化的温度和气体条件下原子级化学反应的动态行为。通过 TEM 和 STEM 模式在各种材料和工作条件下进行亚原子级的探索和研究，技术先进、操作简单、升级方便。凭借独一无二的差动泵目镜，标本区可变身为实验室，展开对催化剂微粒、纳米器件和其他材料的研究，进而在原子级别洞察表面和界面形态及相互作用。在需要时，Titan ETEM 还可作为标准 S/TEM 开展原子级别成像
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聚焦离子束扫描电镜
聚焦离子束扫描电镜(FIB-SEM)
项目简介
用途及功能：
1.定点剖面形貌和成分表征
2. TEM样品制备
3. 微纳结构加工
4. 芯片线路修改
5.切片式三维重构
6.材料转移
7.三维原子探针样品制备
适用领域：
结构分析、材料表征、芯片修补、生物检测、三维重构、材料转移等，该系统可适用于横截面和断层扫描，3D分析，TEM样品制备及纳米图形加工；
样品要求
1、无挥发性，固体、块体长宽最好小于20mm，高度小于5mm。
2、样品要求导电性良好，如果导电性比较差的话需要进行喷金或喷碳处理。
3、透射样品制备只保证切出的样品厚度可以拍透射。
fib切的透射薄片有孔或者部分脱落有影响吗？
切样的目的就是为了减薄样品，一些材质减薄后就会出现部分脱落，穿孔的现象，属于正常现象，有薄区，不影响透射拍摄即可，比如离子减薄制样就是要在材料上穿一个孔。
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球差校正透射电子显微镜
项目简介
可做项目：TEM，STEM，EDS，Mapping，SAED，EELS
用途及功能：
形貌观察：对各种材料内部微结构进行二维显微形貌观察，包括常见的粉末、纳米颗粒形貌和粒径观察；配合三维重构可以得到三维立体形貌；
结构分析：利用选区电子衍射、高分辨透射图像、高分辨扫描透射图像等分析材料的结构
成分分析：配合能谱仪可以对样品元素做点、线、面、体分布分析，可以得到原子分辨率的元素面分布图像
样品要求
1、块体用fib制样，厚度30nm左右；粉末提供10mg左右；
2、纳米颗粒或者纳米片建议用微栅或者超薄碳膜制样；
3、含磁性元素的样品必须提供粉末用于验证磁性；
4、可提供
寄样
，
云视频
，
现场
测试服务。
常见问题
1. 样品为什么会积碳，积碳有什么影响？
答：样品中有机物的影响，制备过程含有机物，或者样品吸附空气中污染物；积碳会影响STEM模式的拍摄效果，让视野模糊不清。
2. 有什么方法可以改善积碳带来的影响？是否一定有用？
答：等离子清洗制好样的载网，但有洗坏样品的风险，可以会导致负载颗粒脱落等风险；电子束辐照样品一段时间，理论上会有改善，但是实际不一定会有明显效果。
3. 我要拍的单原子，为什么整片区域都是很亮的，看不清单个的？
答：样品太厚，或者负载量太大等。
4. 为什么拍不到原子分辨率的mapping和eels？
答：原子相要求样品很薄，样品薄的话能谱信号和eels号会比较弱，不利于收集信号。那就要求样品很薄，很稳定，能长时间收集信号，且要求原子序数都比较大的。一般样品很难同时符合这几个要求。
5. 拍球差的样品为什么要很薄？
答：薄的样品可以减少电子在样品中的弹射次数，分辨率就会比较高。
6. 样品很厚是不是制样没超声好？
答：球差一般是拍样品边缘几个nm的区域，所以对于原子相样品团聚不会影响到拍摄效果，但样品本身很厚就会有影响，这个与超声分散的效果没有关系，与样品本身的厚薄有关。
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13
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矿物定量分析系统MLA
1、样品测试前需要氩离子抛光制样，粉末需要树脂镶嵌后抛光。
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52
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双球差校正透射电子显微镜
主要功能：原子尺度的结构、成分、价态表征
主要技术指标：空间分辨率50pm；能量分辨率<0.2eV
主要学科领域：材料科学
服务内容：双球差校正透射电子显微镜样品测试与服务
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26
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