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高精度内外圆万能磨床
主要功能：轴类零件精密加工磨削
主要技术指标：最大磨削直径360mm，顶尖距1000mm；最大工件重量100kg，砂轮最大直径500mm；砂轮头架回转范围+10°/-198°
主要学科领域：机械工程
服务内容：轴类零件精密加工磨削
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智能制造单元集成应用系统
智能制造单元系统集成应用平台
主要功能：工业机器人系统集成应用
主要技术指标：1.输入电源：三相三线～220V±10% 50Hz 2.工作环境：温度-10℃～+40℃ 相对湿度≤85%（25℃） 3.装置容量：＜1.5kVA 4.实训平台尺寸（含护栏）：3400mm（L）×2100mm（W）×2000mm（H）
主要学科领域：机器人
服务内容：学生实训使用，机电相关专业
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高分辩色质联机系统
主要功能：主要功能为二噁英测试
主要技术指标：AGIENT 6890NGC
主要学科领域：能源科学技术
服务内容：
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船载拖曳水平接收阵
主要功能：可用于海洋学科相关领域，作为水下目标探测、海洋参数反演、海洋层析、海底地形地貌成像等应用的接收阵。
主要技术指标：系统总指标： 频率范围 250～2000Hz ； 阵元通道数 128通道； 水听器阵元灵敏度 ≥-145dB@1kHz； 幅度一致性 ≤±1.5dB； 相位一致性 ≤5°@1kHz； 基元间距 （0.417m±3mm）×96元＋（1.670±5mm）×32元； 等效噪声压谱级 ≤56dB@450Hz；≤45dB@1800Hz； 动态范围 ≥110dB； 采样频率 16kHz； 深度姿态传感器 2个； 航向精度 ±1°； 测深精度 ≤1m； 温度测量 1个温盐探头； 温度准确度 ≤0.01℃； 阵列直径 37mm±1mm； 拖缆长度 不小于800m 拖缆外径 19mm±1mm； 最大拖曳深度 100m； 拖曳速度 ≤10kn； 数据存储能力 8TB。 具备GPS授时功能、系统参数设置功能、外部AIS、雷达数据接入存储功能。
主要学科领域：信息与系统科学相关工程与技术
服务内容：船载拖曳水平声学接收阵可布放于水下200m深度以内，由实验船拖曳前行，对噪声、声源等发射信号进行接收与存贮，可用于海洋学科相关领域，作为水下目标探测、海洋参数反演、海洋层析、海底地形地貌成像等应用的接收阵。
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感应耦合等离子干法刻蚀系统
主要功能：主要应用于金属薄膜、III-V族半导体、Si、SiO2、SiNx等薄膜的干法刻蚀，具有刻蚀速率高、各向异性好等优点。
主要技术指标：RF源-600W，ICP源-3kW，13.56MHz射频发生器；100mTorr真空计；配备SF6、C4F8、CHF3、O2、Ar、He、Cl2、BCl3、HBr、H2、CH4等共11路气体；Ni刻蚀工艺：普通刻蚀速率≥30 nm/min；刻蚀速率范围5~50 nm/min；均匀性<±5%（四英寸）； 选择比>0.3:1（PR）>0.5:1 （SiO2）；刻蚀角度>85°；批间不均匀性<±3%。TiO2刻蚀工艺 普通刻蚀速率≥20 nm/min；刻蚀速率范围5~50 nm/min；均匀性: <±5%（四英寸）；选择比>0.5:1 (PR)，>10:1 (Cr、Al、Ni)；刻蚀角度>85°；批间不均匀性<±3%。InP刻蚀工艺：刻蚀深度<10 um；普通刻蚀速率≥750 nm/min；刻蚀速率范围5~1500 nm/min；均匀性<± 5%（四英寸）； 选择比>10:1 (SiOx/SiNx)；刻蚀角度>90±3°；批间不均匀性<±3%。GaAs刻蚀工艺：刻蚀深度<20 um；普通刻蚀速率≥350 nm/min；刻蚀速率范围20~1500 nm/min；均匀性<±5%（四英寸）；选择比>10:1(SiOx)，>3:1(PR)；刻蚀角度>90±3°；批间不均匀性<±3%。
主要学科领域：自然科学相关工程与技术
服务内容：该设备广泛应用于半导体器件和集成电路的小尺寸器件制造工艺，还应用于薄膜电路、印刷电路和其他微细图形的加工。
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海洋动密封材料CVD沉积设备
海洋动密封材料微波等离子体CVD沉积设备
主要功能：应用于中规模的金刚石、类金刚石等多种薄膜(或单晶）的化学气相沉积(CVD)；材料表面处理和改性；低温氧化物的生长等高新科技领域。
主要技术指标：抽气流量为50-100 sccm
主要学科领域：材料科学
服务内容：样品制备
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超声导波检测系统
主要功能：研究和各种工业结构（管道、热交换）的在线腐蚀检测与长期腐蚀监测应用。
主要技术指标：最高灵敏度为管道横截面积损失量的１%，可靠检测灵敏度为管道横截面积损失量的5%，监测时灵敏度可以达到管道横截面积损失量的0.6% 检测范围：对于带油漆层的地上直管段，可以单方面检测150米处管道横截面积损失量的2-3 最高温度可达900多度
主要学科领域：安全科学技术
服务内容：研究和各种工业结构（管道、热交换）的在线腐蚀检测与长期腐蚀监测应用。
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电液伺服拉扭疲劳试验机
instron电液伺服拉扭疲劳试验机
主要功能：主要用于测定金属及其合金材料在室温状态下的拉伸、压缩或拉、压交变负荷的疲劳性能试验的机器。
主要技术指标：试验最大拉力为250KN
主要学科领域：机械工程
服务内容：主要用于测定金属及其合金材料在室温状态下的拉伸、压缩或拉、压交变负荷的疲劳性能试验的机器。
用户须知：1.该系统为高压系统，不正确使用和不配备适当的防护用品，会有一定的安全风险。 2.未经培训不得操作该仪器。 3.操作者必须佩戴安全眼镜和工作皮鞋。
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