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原子层沉积系统
主要功能：该设备可在不同的基板上(平面、复杂三维、多孔基板和粉末)制备薄膜，通过自限制的化学反应（脉冲CVD），可在原子量级控制薄膜厚度，同时其具有优异的沉积共形性，因此特别适合于微/纳光子器件的制作。通过改变反应前聚体，它可沉积氧化物、氟化物等介质薄膜以及Au、Ag等金属薄膜，因而它同时适合于复杂基板上高品质光学薄膜的制备。
主要技术指标：基片尺寸：最大8 英寸(200mm)； 加热温度：1000C—5000C（可选配更高）； 均匀性： <±1%； 前驱体数：7路（其中4路热源，3路液态源）； 兼容性： 可兼容100 级超净室； 真空抽速：30-80 m3/h 气体：纯度99.999%的N2/Ar
主要学科领域：材料科学
服务内容：先进光学与光电子领域，原子层沉积也可用在在微电子high-k材料制备、材化领域囊的表面修饰等方面的应用研究。
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立式加工中心
主要功能：用于铣削、车削大型回转零件
主要技术指标：最大车削直径：1600mm 最大车削高度：1000mm
主要学科领域：机械工程
服务内容：
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地声过程模拟试验系统
主要功能：岩石真三轴实验，岩爆实验
主要技术指标：三向六面加载作动器，最大力1000KN,成套设备附清单
主要学科领域：土木建筑工程
服务内容：岩石真三轴实验，岩爆实验
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高温高真空摩擦试验机
主要功能：用于多种涂层或材料表面的摩擦磨损试验，可以模拟高温、高真空、惰性气体、（室温高真空），以及上述各种工况的复合情况。
主要技术指标：系统包括摩擦试验机单元、高真空系统、高温变温系统、惰性气体通道（氮气）、及安全防护系统。摩擦试样单元适合的样品尺寸：直径25mm的圆形试样；砝码加载最大：60N；摩擦力测量：最大：20N；旋转模式转速：1-1500rpm(旋转模式支持在高真空下运行）；具有线性往复模式，线性往复模式最大线速度100mm/sec；高真空腔体尺寸：≥ 480mm × 430mm ×380mm (长×宽×高)质量流速反馈控制：0-1800sccm，控制精度：全量程的2%以内；气压反馈控制模式：可控制范围：50-800mbar，控制精度：±5mbar；变温控制：零下80摄氏度到正400摄氏度范围内
主要学科领域：材料科学
服务内容：测量材料温升、摩擦系数等
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超快光谱测试系统
主要功能：主要功能： 该系统主要由可调谐飞秒激光系统和时间相关光谱成像部件组成，可实现软件全自动控制的宽带短脉冲激光调谐输出，以及紫外可见波段的发光短寿命探测。并可配合共焦扫描显微系统完成灵活多变的多光子转化材料和器件以及生物组织多光子和寿命显微成像；可对光子学功能材料等进行更全面的显微-宏观光电性能评价。具体如： 1. 可实现对微纳光子器件的稳瞬态光电特性测试。 2. 搭配共焦显微镜完成样品的微区荧光寿命成像和分析； 2. 实现FRET-FLIM实验； 4. 实现对单分子样品的荧光检测； 5. 可用于磷光寿命成像和分析；
主要技术指标：主要技术指标： 1. 激光光源： 1) 脉宽：<400fs *2) 调谐波段：250-2200nm 3) 平均输出功率:>200mW@650nm *4) 脉冲能量:>1μJ 5) 重复频率:≥200KHz 2. TCSPC设备 1) 时间通道宽度：最小可达813fs 2) 电子时间分辨率：6.6ps fwhm， 2.5ps rms 3) TAC/ADC时间范围： 3.3ns to 5μs *4) 计数率：10MHz （共计20Mhz） 5) 图像最高分辨率：最高可达8192×8192 6) 功能：FLIM、FCS、FCCS、FLITS、PLIM、Z-stack FLIM、Mosaic FLIM 3. 探测器 1) 响应范围：300nm to 720nm 2) 量子效率：45% at 500nm 3) 脉冲渡越时间：120ps，FWHM 4) 过载保护：过载自动切断高压 4. PLIM组件 1) 信号延迟通道： 6 2) 延迟分辨率： 1.25ns 3) 延迟信号脉宽： 10ns-5.2ms 4) 最大延迟时间： 42.9s 5. 软件功能 1) 可通过软件选择最优的工作模式 2) 调用准确的算法去模拟实验数据的模型参数 *3) 通过改变特定的参数来创建最优的荧光寿命图像 4) 2D及3D显示 *5) 可对荧光寿命图像进行数据分析 系统组成： 1. 精密温控水冷器 2. 一体式Yb飞秒激光器（飞秒种子源+再生放大器+压缩器和泵浦二极管） 3. 控制电源 4. 光参量放大器 5. 时间相关单光子计数器 6. Hybrid单光子探测器 7. PLIM组件 8. 软件模块：可同时控制多通道进行数据采集，并对荧光寿命图像进行数据分析；
主要学科领域：材料科学,物理学
服务内容：应用范围： 可应用于基于发光探测的生物组织和细胞、荧光材料、稀土材料、半导体材料等的时间分辨飞秒光谱学、单分子研究、非线性光学等研究。 共享学科： 能实现材料、物理、化学、生物和光学等相关学科
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混响室
主要功能：材料、零部件、总成件吸声系数及隔声量测量；噪声传递函数测试。
主要技术指标：本底噪声：14dB（A）；混响时间及声场均匀度等信息请联系确认。
主要学科领域：信息与系统科学相关工程与技术
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显微共焦拉曼光谱仪
显微共焦拉曼光谱仪（机配电脑）
主要功能：主要研究物质分子振动光谱和微观结构（包括分子结构的对称性、几何构型和化学键性质等），用于化学组分与结构、分子相互作用分析，晶格完整性、量子尺寸效应和应力、物质鉴别。
主要技术指标：光谱重复率：≤ ±0.15 cm-1 光谱范围：200nm-1000nm，光谱分辨率：1cm-1 空间分辨率：横向0.5微米，纵向2微米 低波数：200 cm-1，100 cm-1，50 cm-1供选择
主要学科领域：材料科学
服务内容：主要研究物质分子振动光谱和微观结构（包括分子结构的对称性、几何构型和化学键性质等），用于化学组分与结构、分子相互作用分析，晶格完整性、量子尺寸效应和应力、物质鉴别
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保护热板法导热仪
主要功能：在测量范围为（0~2）W/m·K内，对相应材料进行导热系数进行测试。
主要技术指标：最大允许误差: ±2%
主要学科领域：材料科学
服务内容：开展材料导热系数技术评价分析
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