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PPMS物理性能测定系统
主要功能：PPMS代表着实验设备的新观念，它能自动测试多种物理性能，具有先进的可扩充性和兼容性设计，积多种特性于一身，使其成为同种产品中功能最多的系统: 1、电阻率 2、ACT测试：电阻、Hall系数、I-V曲线、临界电流 3、TTO测试：热导率、Seebeck系数、电阻率、热电优值 4、比热测试 5、VSM测试 6、ACMS测试
主要技术指标：磁场范围：±9T 温度范围：1.9K-400K，300－1000K(VSM oven) 真空度：0.1 mTorr 样品腔空间：? 2.6cm
主要学科领域：材料科学
服务内容：需要提前进行测试预约，并与管理员确认测试内容
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13
次 平均
7
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100%
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深反应离子刻蚀机DRIE
主要功能：该设备通过在反应腔室中通入可以与被刻蚀材料起化学反应的气体，射频电源将反应气体电离产生等离子体，基底被浸渍于高反应活性的等离子体中，基底表面未被掩蔽的部分与气体离子进行反应，反应产物呈气态排出腔室，从而实现材料刻蚀。 该设备主要用于硅及二氧化硅快速刻蚀及其他硅基材料的刻蚀，在衬底上形成高深宽比（如Aspect Ratio100以上）的图案结构微纳米结构。 应用领域包括：MEMS器件的制造（加速传感器等）、喷墨印表机喷头、三维封裝中的硅穿孔、医疗器件的制造。
主要技术指标：1) 深硅刻蚀 -百微米级Trench（光刻胶掩模）： a) 刻蚀速率不低于 50 um/min; b) 硅:光刻胶选择性（Selectivity），不低于 100 c) 刻蚀轮廓（Profile），轮廓角度> 85 度 d) 刻蚀均匀性（Uniformity，100mm衬底，10mm边缘去除），片内5点< 5% ; 2) 深硅刻蚀-微米级Trench（光刻胶掩模）： a) 刻蚀速率不低于60 um/min; b) SiO2：光刻胶选择性（Selectivity）， 不低于 10 c) 刻蚀轮廓（Profile），轮廓角度> 85 度 d) 刻蚀均匀性（Uniformity，100mm衬底，10mm边缘去除），片内5点< 5% ; 3) 深硅刻蚀-百微米级（二氧化硅掩模）： a) 刻蚀速率不低于 10 um/min; b) Si3N4：光刻胶选择性（Selectivity）， 不低于 400 c) 刻蚀轮廓（Profile），轮廓角度> 85 度 d) 刻蚀均匀性（Uniformity，100mm衬底，10mm边缘去除），片内5点< 5% ;
主要学科领域：工程与技术科学基础学科
服务内容：主要用于硅的快速刻蚀及其他硅基材料的刻蚀，形成微纳米结构。 应用领域包括：MEMS器件的制造（加速传感器等）、喷墨印表机喷头、三维封裝中的硅穿孔、医疗器件的制造。
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3M法电波暗室及屏蔽控制室
主要功能：各种电子产品，机电产品，灯具产品IT产品的EMI测试
主要技术指标：test range:30M-18GHz, NSA:+/-4dB,VSWR:under6dB,SE:above 100dB
主要学科领域：电子与通信技术
服务内容：样品检验、认证检查和质量监管
用户须知：无
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3
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电波暗室系统
主要功能：小家电产品，使用3米法进行的EMC测试
主要技术指标：3米法半电波暗室：约为9.6米(长)*6.5米（宽）*6.0米（高）
主要学科领域：电子与通信技术
服务内容：针对小家电产品的EMC电磁兼容测试
用户须知：吸波暗室主体。
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散射特性测试教学演示及科研平台
主要功能：1、目标一维成像、二维SAR成像、二维ISAR成像（需配合转台）原理演示、目标测试 2、 目标近场散射测试演示、测试 3、 目标散射源分选、重构RCS的演示 4、 吸波材料反射率测试 5、 仪表系统可拆卸，替换后可用于验证专用雷达系统功能
主要技术指标：1、工作频率：4~18GHz 2、系统测试距离覆盖范围：3m~60m（具体需要根据不同距离及目标RCS要求配置功率放大器） 3、 极化方式：VV、HH 4、 天线俯仰角度范围：±20° 5、 成像动态范围：≥60dB 6、 最小可测RCS量级：-45dBsm@3.5m测试距离 7、 最大可测目标尺寸：1/2.3测试距离（独立目标尺寸或大型目标上的局部区域尺寸） 8、成像分辨率：4.5cm@4GHz带宽 9、测试重复性：±0.3dB 10、 水平扫描行程：1.8m
主要学科领域：电子与通信技术
服务内容：1、仪器设备操作培训 2、分析测试
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4
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铅蓄电池系统
主要功能：作为电网、微电网、综合能源系统提供分布式储能装置为负荷供电
主要技术指标：评价级：A0；电路类型：电压型自励；控制方式：PWM；冷却类型：强迫风冷
主要学科领域：动力与电气工程
服务内容：微电网负荷控制的稳定性验证、小时间常数设备响应验证
用户须知：本发电机为常规发电设备，按正常操作流程操作即可，无其他特别要求
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8
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7
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信号集中监测平台
主要功能：集信号集中监测综合知识测试、信号数据采集原理解析、设备测试数据分析、设备故障设置与处理于一体
主要技术指标：4套组合柜（含外电网监测箱、各类传感器、绝缘测试表、漏流测试盒、声光报警器等）、10套学生测试接配线操作台和10套测试培训一体操作台（含高配电脑、各类测试仪器仪表）
主要学科领域：交通运输工程
服务内容：
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矢量网络分析仪
主要功能：测试单端口或者多端口网络的S参数值及相位，主要用于天线测试、微波射频多端口模块的测试。广泛应用于电子对抗、卫星通信、移动通信、毫米波雷达、侦察干扰、卫星导航、航空航天和频谱监测等领域。
主要技术指标：主机频率：10M-40G；通过变频模块实现频率拓展到60GHz-90GHz
主要学科领域：电子与通信技术
服务内容：天线、射频微波模块测试
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