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新型等离子体发生装置
主要功能:直线等离子体装置(LPD) 主要由:等离子体源(Plasma Generator,用于产生等离子体)、磁约束系统(Magnetic Confinement,用于约束和维持直线等离子体)、真空系统(Vacuum Pumps,用于产生所需真空及真空检测)、等离子体诊断系统(Diagnostics,用于测量所产生的等离子体参数)、以及电源和其他辅助系统等部分组成。各磁体可独立调整和控制,充分满足构建不同磁场的要求,提供足够的操控灵活性。 LPD是产生和维持直线段稳态等离子体,可用各种控制和诊断手段研究等离子体的各种输运过程、不稳定性和边界物理等;也可研究等离子体与材料的相互作用的基础问题,如材料的物理溅射和化学刻蚀、材料中氢和氦滞留、起泡问题、等离子体破裂对材料的影响模拟等。研究领域可覆盖高密度的托卡马克边界等离子体和材料相关研究,以及低密度的空间等离子体研究等。
主要技术指标:等离子体密度(螺旋波天线源) 1011~1012cm-3 。(本次要求) 等离子体密度(LaB6离子源) 1012~1013cm-3 。(升级后要求) 束流密度(LaB6离子源,样品台中心直径1 cm内) ?1?1022m-2s-1 工作气压~0.1Pa时,本底真空度<10-6Pa 输运真空室长度2000mm,真空室内径=300mm 轴向磁场(直径ф=0.5Φ内)>2000G,磁场轴向均匀度(中间1m范围)≈5%,磁场径向均匀度(直径ф=0.5Φ内)≈5% 导线采用水冷铜导线,每线圈采用一根导线绕制而成;线圈内径:Φ?410mm 束流密度(LaB6离子源,样品台中心直径1 cm内) ?1?1022m-2s-1 LaB6等离子体源采用钨丝加热元件,低压电流≈100A,加热时LaB6阴极温度需至1600°C左右,充入工作气体到0.1?1Pa时,阴极与周围阳极间发生电弧放电产生等离子体,弧电压小于100V,电流安培量级 线圈用电源10台,每台10KW。 射频螺旋波天线电源一台,功率500?3000W可调。 样品台电源1台(300V,1A);
主要学科领域:材料科学
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高重复频率脉冲激光器
主要功能:输出高重频1064nm激光
主要技术指标:工作频率1000HZ,1064nm输出能量1J以上
主要学科领域:物理学
服务内容:提供高重频1064nm脉冲激光
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纳米材料综合性能测试仪
精密多功能(微)纳米材料综合性能测试仪
主要功能:承接精密多功能(微)纳米材料综合性能测试仪Nano Indenter G200 设备相关业务
主要技术指标:精密多功能(微)纳米材料综合性能测试仪Nano Indenter G200 具体指标见型号
主要学科领域:材料科学
服务内容:承接精密多功能(微)纳米材料综合性能测试仪Nano Indenter G200 设备相关业务
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通道式合金分析仪
主要功能:铁及铁合金、铝及铝合金、铜及铜合金、钛及钛合金等金属材料化学成分分析
主要技术指标:光栅焦距长度/ Grating focal length: 1000mm 波长范围/Wavelength coverage: 120nm-850nm 色散率/ Dispersive power: 0.23nm/mm-0.47nm/mm 分析通道/ Analytical Channels:57个
主要学科领域:材料科学
服务内容:用于Fe、Al、Cu、Ni、Ti等多种金属及其合金的化学成分分析
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蒸气压仪
主要功能:蒸气压检测,可以在动态真空条件下测量蒸汽吸附的重量分析系统。多孔材料上的蒸汽吸附在许多行业中都是非常重要的。
主要技术指标:原位样品脱气温度高达400°C,高真空(2×10-6 Torr) 多次吸附/脱附和样品再生循环 实时吸附动力学和热力学 实验背景压力低至1×10-6 Torr 在相对压力低至0.005 Torr的情况下进行吸附测量 25℃时的最小可输送相对水蒸气压力为0.05%RH 样品质量为5-1000毫克
主要学科领域:基础医学
服务内容:蒸气压检测,可以在动态真空条件下测量蒸汽吸附的重量分析系统。多孔材料上的蒸汽吸附在许多行业中都是非常重要的。
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热阻测试及功率循环系统
主要功能:功率半导体器件领域 主要功能: 1、功率模块K系数、热阻、结构函数测试; 2、功率循环试验。
主要技术指标:1、能同时满足功率循环老化和热阻测试、结构函数分析的功能; 2、热阻测试方法支持的测试标准:支持三大主流测试标准,JEDEC/MIL-STD/IEC; 3、热阻测试范围:0.01ºC/W-200ºC/W, 结温测试分辨率:0.01ºC; 4、测试驱动电流:500A *3个,驱动电流分辨率:500mA,驱动电流容许误差:0.1%设定值+0.3%量程值; 5、VGE电压输出:-10~20V,电压输出分辨率:0.01V,VGE电压输出容许误差:0.5%设定值+0.25%量程值; 6、测试电流输出能力:1A*3个,测试电流分辨率:5mA,测试电流容许误差:0.5%设定值+0.125%量程值; 7、电压采样频率:1MHz(保证重复测试性); 8、K系数拟合功能包含线性拟合和非线性拟合,以适用于多种半导体器件的K系数拟合; 9、热阻测试结果包括:温度瞬时变化曲线图,瞬时热阻变化曲线图,脉冲热阻抗图,积分结构函数,微分结构函数,安全工作区域SOA,能够输出待测器件的RC网络模型,RC网络模型级数>10; 10、测试设备能测试IGBT器件在小电流情况下的栅极电流I(g,off),测试范围:250pA~100μA,测试分辨率:25pA; 11、功率循环模式包括:恒定结温差(ΔTJ)、恒定功率差ΔP以及恒定电流等模式; 12、测试设备可以进行秒级功率循环,在进行功率循环时,处于通状态的持续时间最短可达到0.5秒; 13、测试设备能够根据记录参数的改变自动调节热阻测试的频率,包括:沟道压降,温度差,最高结温、栅极电流等参数; 14、测试设备能够在功率循环过程中记录如下参数:功率循环电流,沟道压降 ,栅极电流I(g,off),功率差,结温差、最高结温、最低结温、冷却液温度、基板温度、热瞬态曲线、结构函数等;
主要学科领域:功率半导体器件
服务内容:功率器件热阻测试,功率循环试验
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钨灯丝扫描电子显微镜
主要功能:采用多接口的样品室和物镜设计,提供真空成像功能,可对各种材料表面作分析
主要技术指标:图像电平移:±50µm放大倍数:5×~1000,000×,连续可调
主要学科领域:机械工程
服务内容:采用多接口的样品室和物镜设计,提供真空成像功能,可对各种材料表面作分析
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6000米锰结核评估系统
主要功能:海底视像调查海底视像调查
主要技术指标:工作水深:6000m;数据传输:光电复合缆;检测与控制:高清摄像机、照相机、高度计、照明灯等;作业速度:小于等于2节;重量:1.4t
主要学科领域:地球观测
服务内容:地球观测海底视像调查
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