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三轴同振电动振动试验系统
主要功能:振动试验
主要技术指标:三轴同振,单轴2吨推力;加速度<50g; 频率5-2000HZ;
主要学科领域:机械工程
服务内容:振动试验
用户须知:经操作培训后,方可操作
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铝熔体整体净化熔铸炉
主要功能:承接铝熔体整体净化熔铸炉MJL-2500/1500设备相关业务
主要技术指标:铝熔体整体净化熔铸炉MJL-2500/1500具体指标见型号或面议
主要学科领域:材料科学
服务内容:承接铝熔体整体净化熔铸炉MJL-2500/1500设备相关业务
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错列式炉排
主要功能:本设备可提供有机固废焚烧热解相关方面的技术服务
主要技术指标:有机固废处理能力12吨/天,热负荷0.5MW ,两段式炉排,设计燃料热值2700Kcal/Kg,设计烟气量3000Nm3/h,炉排运动周期及给料速度可控
主要学科领域:能源科学技术
服务内容:
用户须知:提前一个月申请
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慢走丝数控精密线切割机
主要功能:主要用于切割精密模具
主要技术指标:X, Y, Z行程350 x 250 x 250mm
主要学科领域:机械工程
服务内容:主要用于技术开发与服务
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狭小空间特种喷涂实验系统
主要功能:狭小空间功能涂层喷涂。
主要技术指标:焰流速度:800-1100m/s; 最小喷涂内径:200mm; 机械手持重:20kg。
主要学科领域:机械工程,材料科学,水利工程
服务内容:用于涂层制备试验研究。
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刻蚀设备ICP-RIE(有机)
感应耦合等离子体反应离子刻蚀设备ICP-RIE(有机)
主要功能:该设备通过在反应腔室外的电磁线圈上加射频电源,急剧变化的感应电场和感应磁场相互耦合,使得初始电子获得能量轰击中性粒子,产生稳定的等离子体。等离子体在射频偏压电场的加速作用下移动到样品表面,对样品表面进行物理轰击同时化学反应产生挥发性气体,从而达到刻蚀的目的。 该设备主要用于硅、聚合物和光刻胶、硅基介质材料如:氧化硅、氮化硅的刻蚀,控制刻蚀的形貌(同向性或异向性),并保持整个样品的均匀性,在衬底上形成的图案结构微纳米结构
主要技术指标:1) 硅衬底刻蚀(光刻胶掩模): a) 刻蚀速率不低于 1 um/min; b) 硅:光刻胶选择性(Selectivity),不低于 2:1 c) 刻蚀轮廓(Profile),轮廓角度> 89 度 d) 刻蚀均匀性(Uniformity,150mm衬底,10mm边缘去除),片内5点< 3% ,片间(3片)< 5% ; 2) SiO2刻蚀(光刻胶掩模): a) 刻蚀速率不低于 0.2 um/min; b) SiO2:光刻胶选择性(Selectivity), 不低于 2:1 c) 刻蚀轮廓(Profile),轮廓角度> 89 度 d) 刻蚀均匀性(Uniformity,150mm衬底,10mm边缘去除),片内5点< 3% ,片间(3片)< 5% ; 3) Si3N4刻蚀(光刻胶掩模): a) 刻蚀速率不低于 0.2 um/min; b) Si3N4:光刻胶选择性(Selectivity), 不低于 2:1 c) 刻蚀轮廓(Profile),轮廓角度> 89 度 d) 刻蚀均匀性(Uniformity,150mm衬底,10mm边缘去除),片内5点< 3% ,片间(3片)< 5% ;
主要学科领域:工程与技术科学基础学科
服务内容:主要用于石英,氧化硅、硅等硅基材料,GaN、GaAs、InP和其他化合物半导体,金属膜、石墨烯等二维材料,以及PMMA等有机材料的刻蚀,形成微纳米结构。
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立式数控坐标镗铣加工中心
主要功能:机床配置高刚性主轴,重切削与高精度、高表面光洁度加工并存;机体温度控制系统,免受工厂环境温度条件影响,使机床长时间高精度加工成为可能;机床配置有高速高精度插补功能,实现高精度高速加工;每台机床的结合面均由人工手工刮研,已达到高直线度及平面度,保证每台机床的精度都更好的。
主要技术指标:X-600 Y-400 Z-350 工作台尺寸:700x450mm 承重:300kg 主轴转速:100-20000rpm 主轴内径:65mm 刀库:30位 工具最大直径:100mm 工具最大长度:250mm 工具最大重量:7kg 锥度:BT40 最小设定单位:0.0001μ
主要学科领域:机械工程
服务内容:高精度机械加工、超高精度机械加工
用户须知:需要具有机加工操作经验者持证上岗。
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SL柔性制造模拟生产线
主要功能:SL柔性制造模拟生产线
主要技术指标:SL柔性制造模拟生产线
主要学科领域:材料科学
服务内容:SL柔性制造模拟生产线
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