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300mm口径激光干涉仪
主要功能：可以测量光学镜片、镜头的面型等光学性能。
主要技术指标：1.菲索机械移相式激光干涉仪； 2.校准系统：快速条纹采样系统，双CCD，独立校准十字屏幕； 3.测量光束直径：≥4英寸； 4.激光功率：~1mW； 5.波长及频率稳定性：633nm，<0.0001nm； 6.成像分辨率：≥1200*1200像素； 7.帧速：≥160Hz； 8.RMS重复性：≤0.06nm，λ/10000（2σ）； 9.RMS波前重复性：≤0.35nm，λ/1800（mean+2σ）； 10.具有抗震机械移相模式，可以在无抗震平台条件下做机械移相式测量。 12寸扩束系统
主要学科领域：工程与技术科学基础学科
服务内容：具体服务内容需要面议。
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钨灯丝扫描电子显微镜
主要功能：该设备具有高分辨率，能做各种固态样品表面形貌的二次电子像、背散射电子像观察及图像处理。配备X射线能谱仪，能对样品表层的微区点线面元素进行定性及半定量分析，具有形貌、化学组分综合分析能力。与一般扫描电镜相比，它能以更高的分辨率观察固体样品表面显微结构和形貌，是研究材料表面结构与性能关系的重要工具。由于分辨率高，为纳米材料的研究提供了可靠的实验手段。可对金属、无机非金属、高分子材料及生物样品等的表面显微结构和形貌进行分析。
主要技术指标：1、分辨率：≤0.8 nm；2、放大倍率：≥80万倍；3、加速电压：0.2-30KV；4、 检测器：具有检测SE和BSE信号功能； 5、可选配STEM，EDX等附件
主要学科领域：材料科学,能源科学技术,化学,化学工程
服务内容：将在材料科学、化学、生命科学、医学、化学化工、环境科学、地学等领域的基础研究中应用广泛。
用户须知：无
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近场光学显微镜
主要功能：与拉曼联用的近场光学显微镜可同时获得材料表面的形貌和成份信息，并可获得相应表面波导等光学特性的的信息，其应用领域十分广泛，可用于研究无机材料、有机材料、薄膜材料、生物材料、有机/无机复合材料的表面分析等等。
主要技术指标：分辨率：取决于孔径，小于100nm。 激光波长：532nm1，可进行拉曼成像。 工作模式：反射模式及收集模式。 探针种类：玻璃光纤式探针
主要学科领域：材料科学,物理学
服务内容：
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红外热成像系统
主要功能：采集与分析物体的红外能量
主要技术指标：ResearchIR max红外操作分析软件(成套设备附清单）
主要学科领域：土木建筑工程
服务内容：采集与分析物体的红外能量
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生物扫描探针显微镜
主要功能：形貌扫描；表面粗糙度分析；表面电势和形貌分析；纳米力学性质；力曲线分析；化学探针扫描；微纳米操作。工作环境：空气；溶液（中性、酸性溶液，非水溶液）
主要技术指标：Nanoscope IVa
主要学科领域：化学
服务内容：
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磁光克尔显微镜
主要功能：用于观察磁性材料的静态或动态磁畴结构，及磁滞回线测量。适用于薄膜、块体、粉末等多种形态样品
主要技术指标：光源：高稳定性LED光源；极限分辨率：300nm；磁场范围：a). 水平方向：-1.3～1.3T；b). 垂直方向：-0.95～0.95T；温度范围：a). 室温组件：室温大气环境；b). 高温组件：室温～873K；c). 低温组件：4K～室温
主要学科领域：材料科学
服务内容：用于观察薄膜、块体、条带等磁性材料表面的静态或动态磁畴结构，及磁滞回线测量。
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数字全息显微镜
主要功能：1. 全视场、非扫描、非接触光学无损测量，可记录样品的二维、三维、四维形貌，超高速记录动态三维形貌（即四维形貌），高速相机速率达190帧/秒。 2. MEMS振动四维测试，最高频率可达25MHz，无需扫描，同时测量面内和面外振动，面内振动最小可测1nm，面外振动最小可测0.5pm。 3. 双激光源独立或同时使用，同时使用可增加动态测试的纵向范围，根据ISO国际标准实时测量样品表面粗糙度。 4. 专用数据采集分析软件，供在线分析或试验后分析，提供包括实时二维/三维/四维形貌、粗糙度分析、相位实时监控、数字聚焦、视频编辑输出等多种功能。 5. 专用MEMS振动数据处理分析软件，供面内、面外振动跟踪，X、Y、Z三轴位移、速度、加速度分析，边缘和图形自动跟踪，多器件阵列分析，自动提取振动模态，谐振分析，频域分析等多种功能。
主要技术指标：1. 测量模式：675nm，794nm，单光源或双光源模式用户可选； 2. 高速CCD相机：190帧/秒，1024x1024像素； 3. 垂直分辨率：0.30nm（单光源测试）； 4. 动态可测垂直高度：连续结构100μm； 5. 动态可测台阶高度： 最高 2μm（双光源测试）； 6. MEMS周期振动频率：最高25MHz； 7. 面内振动：最小可测5nm（40x物镜）； 8. 面外振动：最小可测0.5pm； 9. 电动样品台：移动范围100mmx100mmx38mm； 10. 垂直校准：取决于干涉仪光纤，误差小于0.1nm； 11. 横向分辨率：最低为500nm（40x物镜）； 12. 视场：取决于物镜，从165μmx165μm到1.3mmx1.3mm； 13. 数字自动聚焦范围：取决于物镜，最高可达景深的40倍； 14. 最小试样反射率：1%； 15. 样品照度：最低为1μW/cm2。
主要学科领域：工程与技术科学基础学科
服务内容：1.液体环境中细胞、微型电路板、摩擦磨损样品、腐蚀样品等3D形貌观察和测量分析； 2.热板的热变形、聚合物蒸发、微型自组装、液晶弹性体等4D形貌观察记录； 3.2D材料的形变，例如：石墨烯、薄膜材料等； 4.文件、字体等司法鉴定； 5.惯性传感器、悬臂等振动测试分析。
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钨灯丝扫描电子显微镜
主要功能：采用多接口的样品室和物镜设计，提供真空成像功能，可对各种材料表面作分析
主要技术指标：图像电平移：±50µm放大倍数：5×~1000,000×，连续可调
主要学科领域：机械工程
服务内容：采用多接口的样品室和物镜设计，提供真空成像功能，可对各种材料表面作分析
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