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新型等离子体发生装置
主要功能：直线等离子体装置（LPD） 主要由：等离子体源（Plasma Generator，用于产生等离子体）、磁约束系统（Magnetic Confinement，用于约束和维持直线等离子体）、真空系统（Vacuum Pumps，用于产生所需真空及真空检测）、等离子体诊断系统（Diagnostics，用于测量所产生的等离子体参数）、以及电源和其他辅助系统等部分组成。各磁体可独立调整和控制，充分满足构建不同磁场的要求，提供足够的操控灵活性。 LPD是产生和维持直线段稳态等离子体，可用各种控制和诊断手段研究等离子体的各种输运过程、不稳定性和边界物理等；也可研究等离子体与材料的相互作用的基础问题，如材料的物理溅射和化学刻蚀、材料中氢和氦滞留、起泡问题、等离子体破裂对材料的影响模拟等。研究领域可覆盖高密度的托卡马克边界等离子体和材料相关研究，以及低密度的空间等离子体研究等。
主要技术指标：等离子体密度(螺旋波天线源) 1011~1012cm-3 。（本次要求） 等离子体密度(LaB6离子源) 1012~1013cm-3 。（升级后要求） 束流密度(LaB6离子源，样品台中心直径1 cm内) ？1？1022m-2s-1 工作气压~0.1Pa时，本底真空度<10-6Pa 输运真空室长度2000mm，真空室内径＝300mm 轴向磁场（直径ф=0.5Φ内）>2000G，磁场轴向均匀度（中间1m范围）≈5%，磁场径向均匀度（直径ф=0.5Φ内）≈5% 导线采用水冷铜导线，每线圈采用一根导线绕制而成；线圈内径：Φ？410mm 束流密度(LaB6离子源，样品台中心直径1 cm内) ？1？1022m-2s-1 LaB6等离子体源采用钨丝加热元件，低压电流≈100A，加热时LaB6阴极温度需至1600°C左右，充入工作气体到0.1？1Pa时，阴极与周围阳极间发生电弧放电产生等离子体，弧电压小于100V，电流安培量级 线圈用电源10台，每台10KW。 射频螺旋波天线电源一台，功率500？3000W可调。 样品台电源1台（300V，1A）；
主要学科领域：材料科学
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高重复频率脉冲激光器
主要功能：输出高重频1064nm激光
主要技术指标：工作频率1000HZ，1064nm输出能量1J以上
主要学科领域：物理学
服务内容：提供高重频1064nm脉冲激光
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纳米材料综合性能测试仪
精密多功能（微）纳米材料综合性能测试仪
主要功能：承接精密多功能（微）纳米材料综合性能测试仪Nano Indenter G200 设备相关业务
主要技术指标：精密多功能（微）纳米材料综合性能测试仪Nano Indenter G200 具体指标见型号
主要学科领域：材料科学
服务内容：承接精密多功能（微）纳米材料综合性能测试仪Nano Indenter G200 设备相关业务
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通道式合金分析仪
主要功能：铁及铁合金、铝及铝合金、铜及铜合金、钛及钛合金等金属材料化学成分分析
主要技术指标：光栅焦距长度/ Grating focal length: 1000mm 波长范围/Wavelength coverage: 120nm-850nm 色散率/ Dispersive power: 0.23nm/mm-0.47nm/mm 分析通道/ Analytical Channels：57个
主要学科领域：材料科学
服务内容：用于Fe、Al、Cu、Ni、Ti等多种金属及其合金的化学成分分析
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蒸气压仪
主要功能：蒸气压检测，可以在动态真空条件下测量蒸汽吸附的重量分析系统。多孔材料上的蒸汽吸附在许多行业中都是非常重要的。
主要技术指标：原位样品脱气温度高达400°C，高真空（2×10-6 Torr） 多次吸附/脱附和样品再生循环 实时吸附动力学和热力学 实验背景压力低至1×10-6 Torr 在相对压力低至0.005 Torr的情况下进行吸附测量 25℃时的最小可输送相对水蒸气压力为0.05％RH 样品质量为5-1000毫克
主要学科领域：基础医学
服务内容：蒸气压检测，可以在动态真空条件下测量蒸汽吸附的重量分析系统。多孔材料上的蒸汽吸附在许多行业中都是非常重要的。
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热阻测试及功率循环系统
主要功能：功率半导体器件领域 主要功能： 1、功率模块K系数、热阻、结构函数测试； 2、功率循环试验。
主要技术指标：1、能同时满足功率循环老化和热阻测试、结构函数分析的功能； 2、热阻测试方法支持的测试标准：支持三大主流测试标准，JEDEC/MIL-STD/IEC； 3、热阻测试范围：0.01ºC/W-200ºC/W, 结温测试分辨率：0.01ºC； 4、测试驱动电流：500A *3个，驱动电流分辨率：500mA,驱动电流容许误差：0.1%设定值+0.3%量程值； 5、VGE电压输出：-10~20V，电压输出分辨率：0.01V，VGE电压输出容许误差：0.5%设定值+0.25%量程值； 6、测试电流输出能力：1A*3个，测试电流分辨率：5mA，测试电流容许误差：0.5%设定值+0.125%量程值； 7、电压采样频率：1MHz（保证重复测试性）； 8、K系数拟合功能包含线性拟合和非线性拟合，以适用于多种半导体器件的K系数拟合； 9、热阻测试结果包括：温度瞬时变化曲线图，瞬时热阻变化曲线图，脉冲热阻抗图，积分结构函数，微分结构函数，安全工作区域SOA，能够输出待测器件的RC网络模型，RC网络模型级数＞10； 10、测试设备能测试IGBT器件在小电流情况下的栅极电流I(g,off)，测试范围：250pA~100μA，测试分辨率：25pA； 11、功率循环模式包括：恒定结温差（ΔTJ）、恒定功率差ΔP以及恒定电流等模式； 12、测试设备可以进行秒级功率循环，在进行功率循环时，处于通状态的持续时间最短可达到0.5秒； 13、测试设备能够根据记录参数的改变自动调节热阻测试的频率，包括：沟道压降，温度差，最高结温、栅极电流等参数； 14、测试设备能够在功率循环过程中记录如下参数：功率循环电流，沟道压降 ，栅极电流I(g,off)，功率差，结温差、最高结温、最低结温、冷却液温度、基板温度、热瞬态曲线、结构函数等；
主要学科领域：功率半导体器件
服务内容：功率器件热阻测试，功率循环试验
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钨灯丝扫描电子显微镜
主要功能：采用多接口的样品室和物镜设计，提供真空成像功能，可对各种材料表面作分析
主要技术指标：图像电平移：±50µm放大倍数：5×~1000,000×，连续可调
主要学科领域：机械工程
服务内容：采用多接口的样品室和物镜设计，提供真空成像功能，可对各种材料表面作分析
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6000米锰结核评估系统
主要功能：海底视像调查海底视像调查
主要技术指标：工作水深：6000m；数据传输：光电复合缆；检测与控制：高清摄像机、照相机、高度计、照明灯等；作业速度：小于等于2节；重量：1.4t
主要学科领域：地球观测
服务内容：地球观测海底视像调查
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