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电子束蒸发台
主要功能：蒸发材料，Ti,Ni,Ag,Al,Au,Pt等
主要技术指标："1、U%（WIW）片内均匀性：≤2.5%（单层Single layer Ti，Ni，Au，Pt，Al，Thickness=1000 Å）；WIW=（MAX-MIN）/(2*AVG)；2、U%（WTW）片间均匀性：≤2.5%；WTW=（MAX-MIN）/(2*AVG)；3、U%（RTR）批间均匀性：≤2.5%；RT=（MAX-MIN）/(2*AVG)；4、Single dome capacity单个镀锅装载量：≥40pcs (4”)；"
主要学科领域：物理学
服务内容：用于蒸发材料，Ti,Ni,Ag,Al,Au,Pt等
用户须知：无
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高通量测序仪
主要功能：高通量测序仪用于基因测序
主要技术指标：每个run平均达到200G的数据通量，读长为2 x 100bp； · 每个run可同时运行2张Flow cell, 且每张Flow cell 可进行上下两面扫描； · 采用TDI 线性扫描技术，4个相机同时扫描； · 预先配置、即插即用的试剂，简单的流动槽上样，触摸屏式的用户界面； · 低成本：单次运行即可以～30倍的覆盖度同时对两个人类基因组样品进行测序，或同时绘制200个基因表达谱。
主要学科领域：自然科学相关工程与技术
服务内容：基因测序
用户须知：无
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组合式加载装置
主要功能：主要用于复杂结构的模型试验。
主要技术指标：立柱高度9米，横梁跨度9.9米，最大承载力1000kN。
主要学科领域：土木建筑工程
服务内容：
用户须知：无
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空间结构大型节点试验系统
空间结构大型节点试验全方位加载系统
主要功能：对大型空间结构节点沿各杆件轴向加载试验
主要技术指标：试件最大尺寸：（受压杆取上限段，受拉杆取下限段） 竖直方向：2500~2950 球心向外方向： -使用主缸：1050~1450 -使用辅助缸：1260~1460 -使用伺服缸：1185~1395 -使用下平台：1540 E.水平方向油缸布置：经度范围为240°（开口处每边要减去15°的盲区），两相邻油缸经度最小夹角为22.5°。 F.上下方向油缸布置：纬度范围：-47°～+55°（近主油缸受限32°，近底座受限40°），两相邻油缸纬度最小夹角为22.5°。 G.两相邻油缸纬度差大于22.5度时，经度最小夹角为7.5度。 H.两相邻油缸分别交替布置在上下半球。
主要学科领域：土木建筑工程
服务内容：空间结构复杂节点加载试验
用户须知：无
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稀释制冷机
主要功能：超导量子芯片的测量，为超低温实验平台。该设备可容纳50-100个超导量子比特，同时保证低温指标，可以完成超低温下的50-100个超导量子比特的微波信号处理，是开展50+超导量子计算实验研究的必要设备。
主要技术指标：无需外加液氦制冷；超强制冷力，系统基础温度< 10mK，正常运行时系统制冷功率> 30μW @20mK，> 1000μW @100mK; 使用双脉管制冷机（单台额定制冷功率≥1.5W @4K）；制冷机内部3He/4He冷凝循环制冷插件包括Still、MC置于底盘中心通孔处； 可用样品空间的直径不小于500毫米，高度不小于550毫米，混合腔有独立防辐射罩；双分子泵和旋转阀与制冷机主机体分离, 脉管制冷机法兰上装有波纹管结构(bellows)进行减振，低温恒温器采用重负载框架固定，采用主动式减振系统，运行频率覆盖2Hz-200Hz，在0.1-1Hz采用低频传感器作为振动反馈.
主要学科领域：物理学
服务内容：该设备主要服务于物理学，也可用于材料、电子工程、化学等学科的相关实验及研究。
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研磨抛光一体机
主要功能：适用于半导体、集成电路领域中，晶圆背面研磨抛光与自动贴膜。
主要技术指标：（1）晶圆尺寸：兼容晶圆芯片尺寸12寸、8寸。 （2）厚度测量：配NCIG（非接触式光学测高）实时测量晶圆研磨厚度变化。 （3）减薄厚度：量产情况下，晶圆最小可减薄到25μm，厚度波动范围不超过±3μm，不带膜验证片内TTV不超过3μm，片间TTV不超过±3um，粗磨细磨后表面粗糙度130nm(2000#磨轮)，CMP后表面粗糙度不超过1nm；
主要学科领域：力学,电子与通信技术
服务内容：适用于半导体、集成电路领域中，晶圆背面研磨抛光与自动贴膜，可承接委托加工订单。
用户须知：如需预约委托加工，请提前联系。
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镀膜机
主要功能：在超高真空下将待蒸镀材料利用电子束加热达到熔化温度使其蒸发，达到并附着在基底表面形成致密均匀目标薄膜，该设备配置三个腔室可依次对样品进行清洗刻蚀、薄膜蒸发、氧化处理等工艺。
主要技术指标：1. 含预真空进样腔体，本底真空度＜6×10-8 Torr；2. 预真空腔体可以对衬底进行多种处理：加载≤4 inch 衬底，支持衬底旋转和衬底倾斜，支持衬底背面加热可达200℃，支持衬底清洗刻蚀；3. 独立蒸镀腔体本底真空度＜1×10-9 Torr；4.电子枪功率 6 kW，至少5 个坩埚，能蒸镀Ti/Au/Cr/Al/Al2O3 等薄膜；5. 薄膜沉积速率分辨率 10-3 nm/s，膜厚分辨率10-2 nm；6. 能够进行双角度蒸镀，倾斜角度重复性和精度优于 0.01°；7. 含有独立氧化腔体，本底真空度＜1×10-8Torr；8. 氧化腔体能够对样品进行静态氧化、动态氧化；9. 全自动电脑控制。
主要学科领域：自然科学相关工程与技术
服务内容：
用户须知：无
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智慧城市动态模拟沙盘操作平台
主要功能：智慧交通管理、智慧水环境的展示与实际操作；动态交通仿真演示与实训；交通基础设施健康监测展示与实训；智慧交通与智慧水务大数据的展示与分析。可以应用于交通管理、交通规划、交通建设、水资源管理、水环境监测等的教学与科研。包含交通仿真软件PTV Vissim、Paramics等
主要技术指标：综合交通管控平台软件 交通信号系统软件 VISSIM微观仿真软件及接入 VISSIM微观仿真软件教学版； Paramics交通仿真软件及接入； TransCAD宏观仿真软件及接入； 德国simi视频分析处理软件； DynuStudio-DynusT动态交通分配与仿真软件； 智慧城市综合沙盘及设备； 实训操作终端； 工位； 智慧城市动态展示屏 自制包括6×25米智慧城市动态模拟沙盘；智慧交通部分主要包括交通路网、桥梁、隧道模型；与实际场景吻合的建筑模型；车船模型、信号灯模型、倒计时模型、诱导屏模型及其相关控制设备；智慧水环境部分包括海绵体；江湖河库网水环境以及江海体系环境。
主要学科领域：交通运输工程
服务内容：
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