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超音速等离子喷涂系统
主要功能：承接超音速等离子喷涂系统DJ2700M设备相关业务
主要技术指标：超音速等离子喷涂系统DJ2700M具体指标见型号或面议
主要学科领域：材料科学
服务内容：承接超音速等离子喷涂系统DJ2700M设备相关业务
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五轴联动加工中心
主要功能：适合三维立体造型的曲面加工
主要技术指标：工作行程分别为：纵向(X)-700mm，横轴(Y)-600mm，垂直(Z)-500mm，摆动轴(B)-65°/+120°，旋转轴(C)n×360°，最高转速达20000min-1，配备30刀位的刀库、Heidenhain数控系统
主要学科领域：机械工程
服务内容：适合三维立体造型的曲面加工
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感应耦合等离子刻蚀机
主要功能：等离子体刻蚀，半导体加工，金属加工，印刷电路加工
主要技术指标：材料：InP，GaAs 建议刻蚀尺寸：1um
主要学科领域：电子与通信技术
服务内容：等离子体刻蚀，半导体加工，金属加工，印刷电路加工
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箱体类零件柔性制造系统研发平台
主要功能：主要提供箱体类零件自动化加工系统的试验研究。箱体类零件自动化柔性制造系统研发平台由1台卧式加工中心、1台关节式机器人、1套直线导轨、一套上下料装置、1套质量保障技术与控制系统、工装夹具及传感器、附件等组成。研制适用于箱体类零件自动化生产线的成套装备，提出适用于该装置的新工艺和新技术；研制适用于箱体类零件自动化生产线的专用工装夹具；研究箱体类零件自动化加工过程中各环节的节拍优化，实现机器人及自动化设备安全、高速、协同运行；可实现包括柔性制造工艺优化分析技术、面向用户的控制软件开发、在线自动检测技术等。最终形成具有自主知识产权的箱体类零件自动化柔性加工设备，大幅度提高产品的质量、稳定性和生产效率，有效减少用工人数。
主要技术指标：一、卧式加工中心（1台） 1）加工范围：X轴行程不小于1000mm，Y轴行程不小于800 mm，Z轴行程不小于700 mm，主轴中心至工作台面高度范围不小于0-800 mm，主轴端面至工作台中心距离范围不小于200-950mm；2）主轴：主轴电机功率范围不小于18.5kw，主轴转速不小于20-5000 min-1，主轴最大扭矩不小于700 Nm；3）进给轴：X/Y/Z/B及以上，快速进给不小于20 m/min，切削进给不小于1-5000 m/min，分度速度不小于18o/sec；4）刀库：刀库容量不小于60把, 刀具最大长度不小于500mm, 最大刀具直径不小于120mm, 最大刀具重量不小于25kg；5）电源容量55 kvA左右；6）数控系统：FANUC；7）机床卡盘具有自动夹紧、松开功能;8）机床具有高压水冲（或气吹）功能，保证清除遗留在卡盘定位面和零件上机械手定位面上的杂质；9）机床需具有足够的I/O通信接口；10）机床具备自动前门（自动前门到位检测时，传感器应检测门是否到位，而不是气缸是否到位）。 二、关节式机器人及机械手（1套） 1）关节式机器人：运动轴数6轴及以上；总负载大于45kg，其中最前端P点负载大于15kg；重复精度高于±0.05mm；作业空间范围≧14.5m3；安装位置：地面/墙壁/天花板；2）机械手必须具备抓取零件（毛坯）重量最大3Kg的零件（毛坯）的能力；能考虑到加工、下料过程中工件加工面的损伤问题；3）机械手送料、取料动作要确保正确、到位；4）机械手在突然断电、断气时，机械手所抓工件不允许松开和脱落；5）机器人与机床之间的信号连接采用继电器无源触点形式。 三、直线导轨及附件（1套） 1）直线导轨用于机器人的直线移动，扩大机器人的移动范围，满足机器人上下料需求； 2）最大负载≧30000N；3）采用伺服驱动的方式，电机功率≧15kw，最大扭矩≧165Nm，额定扭矩≧165Nm；4）移动速度≧50m/min，加速度≧1m/s；5）能实现连续或步进传输；6）重复定位精度≤±0.5mm。 四、上下料装置（1套） 1）输送功能：完成零件的输送，满足自动化生产需求；2）储料功能：有一定的储料能力，保证自动线的连续加工；3）检测功能：能够检测料道上是否有料；4）通信功能：能够与机床、机械手相互通信；5）报警功能：当料道满料时，发出报警信号。 五、质量保障技术与控制系统（1套） 1）质量保障技术：传感器能够检测典型机械零件的主要形位参数；系统的测试精度以及信号采集过程中数据真实、准确、无误；在线自动检测与质量分析软件；2）控制系统：包含硬件系统和专用软件；各个动作之间信号连锁以及互锁；自动化设备的同步优化设计技术，主要对自动化加工过程中各环节的节拍进行整体优化设计，实现机器人及自动化设备安全、高速、协同运行。
主要学科领域：自然科学相关工程与技术
服务内容：
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步进式激光直写曝光系统
主要功能：该设备采用激光作为光源，透过高精度的光学透镜组，最小直写精度可以达到0.6um，而且工作台平台定位激光干涉仪分辨率10 nm，能够精准的提高光刻图形的提高光刻图形的质量，实现大面积高精度无掩膜直写曝光。
主要技术指标：激光波段405nm；激光能量300mW；使用寿命约8000小时；最大基板尺寸9inch×9inch；有效曝光面积200mm×200mm；最大基板厚度6mm；Mode I：0.6um、Mode II：1um、Mode III：2um三种不同分辨率激光读写头；最小特征尺寸制作0.6um@Mode I、1um@Mode II、2um@Mode III；描绘网格10nm@Mode I、50nm@Mode II、100nm@Mode III；线宽均匀性60nm@Mode I、130nm@Mode II、180nm@Mode III；对准精度100nm@Mode I、250nm@Mode II、400nm@Mode III；光绘速度6 mm2/minute@Mode I、150 mm2/minute@Mode II、600 mm2/minute@ModeIII。
主要学科领域：信息与系统科学相关工程与技术
服务内容：该系统主要用于涂有光刻胶的各种基片，玻璃，硅片，或其它平面材料的图形曝光。广泛应用在光掩模板，半导体芯片，MEMS（微机电系统），传感器，MOEMS（微光机电），集成光学等图形的制作。
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气体介质太阳能热发电平台
气体介质太阳能热发电试验测试平台
主要功能：该试验平台可以用于不同类型集热器的性能测试，可用于气体介质高温热发电系统的研究，同时可研究相应的控制系统与优化设计方法，为我国太阳能热发电的发展提供相应的测试设施和示范。
主要技术指标：台架总高30m，共分6层；试验台架需根据现场实际情况，满足最大摆动幅度3cm（地面风速20m/s以下），安全等级一级；试验台架内部各层空间需满足工艺要求与设备荷载要求，可根据实际设计情况，试验台架尺寸不小于80m2，平整地基面积考虑今后扩建要求不小于200 m2。试验台架内部各层分别设置冷却水系统（流量可调节，最大流量0.002m3/s），并配备30 kW /380V和20 kW /220V的配电柜。试验台架内部各层配备通风系统。测试平台需设置可启闭式采光孔，采光孔尺寸为3.5m*3m。实验台架内设置检修用楼梯，满足各个设备检修使用要求。
主要学科领域：能源科学技术
服务内容：
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高性能干法刻蚀设备
主要功能：可编程逻辑，设备加载锁功能，支持3-6英寸基板尺寸，双通道进气
主要技术指标：支持注入气体：N2，O2，SF6，C4F8，CF4等，泵浦系统：MP，DP，TMP，微波信号：13.56MHz，0-300W
主要学科领域：电子与通信技术
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飞秒激光微加工系统
主要功能：制孔：如飞机发动机叶片气膜孔制孔、航天流量控制板制孔、汽车喷油嘴制孔等； 刻蚀：如航天燃油过滤片超精密刻蚀、高硬度刀具修复等； 切割：如卫星光栅薄片超精密切割、心脏支架切割等；
主要技术指标：激光器型号：立陶宛L17771； 激光器功率：20W； 输出波段：1064nm（红外光）；
主要学科领域：机械工程
服务内容：各类金属、非金属及复合材料的高精度微结构加工，如通孔、异型孔、盲孔、微腔、型腔、异型槽等复杂形貌结构切割
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