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原子层沉积设备
主要功能：1）可沉积氧化铝，氧化钛，氧化硅，氮化钛等薄膜，对非平面结构实现均匀的共型薄膜覆盖； 2）2路直抽管路，反应源瓶不可加热，管路可加热到最高200度，用于高蒸汽压反应源，如H2O和铝源TMA； 3）1路直抽管路，反应源瓶和管路均可加热到最高200度，用于室温下低蒸汽压反应源，如硅源SAM.24； 4）1路氮气鼓泡管路，反应源瓶和管路均可加热到最高200度，用于加热也不能获得高蒸汽压的反应源，如钛源TTIP； 5）300W的CCP等离子体源可将氨气或者氧气解离生成活性基团，注入反应腔参与ALD的反应，再100度下可获得致密薄膜； 6）原位椭偏仪可对整个ALD的过程进行监控，可使沉积停止于目标厚度；
主要技术指标：通过加热方式或者等离子体方式，进行原子层沉积氧化物和氮化物薄膜； 1）配置有4路液体源注入,其中 2路直抽管路，管路可加热到最高200度，反应源瓶不可加热； 1路直抽管路，反应源瓶和管路均可加热到最高200度； 1路氮气鼓泡管路，反应源瓶和管路均可加热到最高200度； 2）配置有300W的CCP等离子体源和两路反应气体，分别是氨气和氧气，通过等离子体解离后注入反应腔； 3）衬底可加热到最高300度；
主要学科领域：工程与技术科学基础学科
服务内容：主要用于对复杂3D形貌的结构进行保型性薄膜覆盖，如对MEMS或者先进的微电子器件中很高的深宽比的沟槽内壁的填充和覆盖；对纳米线或者纳米管等的外壁进行覆盖等；也可用于形成高质量的高介电常数薄膜（氧化物）或者金属接触层薄膜（氮化物）；还可用于形成高质量的叠层薄膜结构，实现光学的性能。
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特种玻璃拉丝塔
主要功能：此设备适用于硫系玻璃光纤拉制
主要技术指标：拉丝直径0-50mm，拉丝温度0-1000度
主要学科领域：材料科学
服务内容：此设备适用于硫系玻璃光纤拉制
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飞秒激光器
主要功能：美国相干公司的Verdi DPSS 532nm泵浦激光器+Mira锁模钛宝石振荡器+Mira OPO，另可配合美国相干公司的Pulse Picker使用
主要技术指标：激光输出重复频率为76MHZ、MIRA输出典型值为3.5W@110fs@800nm；OPO输出典型值为350mW@220fs@1550nm；另可配合Pulse Picker使用更改输出重复频率。
主要学科领域：自然科学相关工程与技术
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单晶炉
主要功能：制备高纯4英寸/6英寸碳化硅单晶
主要技术指标：1）加热器最大加热功率∶ 30 KW； 2）最高加热温度∶ 2600℃；3） 温度自动调节相对偏差∶<±0.5℃ 4） 极限真空度∶<9.0×10 -6mBar） 压力稳定性∶<±0.1 mBar（0-10mBar）
主要学科领域：物理学
服务内容：制备高纯4英寸/6英寸碳化硅单晶
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船载拖曳水平接收阵
主要功能：可用于海洋学科相关领域，作为水下目标探测、海洋参数反演、海洋层析、海底地形地貌成像等应用的接收阵。
主要技术指标：系统总指标： 频率范围 250～2000Hz ； 阵元通道数 128通道； 水听器阵元灵敏度 ≥-145dB@1kHz； 幅度一致性 ≤±1.5dB； 相位一致性 ≤5°@1kHz； 基元间距 （0.417m±3mm）×96元＋（1.670±5mm）×32元； 等效噪声压谱级 ≤56dB@450Hz；≤45dB@1800Hz； 动态范围 ≥110dB； 采样频率 16kHz； 深度姿态传感器 2个； 航向精度 ±1°； 测深精度 ≤1m； 温度测量 1个温盐探头； 温度准确度 ≤0.01℃； 阵列直径 37mm±1mm； 拖缆长度 不小于800m 拖缆外径 19mm±1mm； 最大拖曳深度 100m； 拖曳速度 ≤10kn； 数据存储能力 8TB。 具备GPS授时功能、系统参数设置功能、外部AIS、雷达数据接入存储功能。
主要学科领域：信息与系统科学相关工程与技术
服务内容：船载拖曳水平声学接收阵可布放于水下200m深度以内，由实验船拖曳前行，对噪声、声源等发射信号进行接收与存贮，可用于海洋学科相关领域，作为水下目标探测、海洋参数反演、海洋层析、海底地形地貌成像等应用的接收阵。
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海洋动密封材料CVD沉积设备
海洋动密封材料微波等离子体CVD沉积设备
主要功能：应用于中规模的金刚石、类金刚石等多种薄膜(或单晶）的化学气相沉积(CVD)；材料表面处理和改性；低温氧化物的生长等高新科技领域。
主要技术指标：抽气流量为50-100 sccm
主要学科领域：材料科学
服务内容：样品制备
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电液伺服拉扭疲劳试验机
instron电液伺服拉扭疲劳试验机
主要功能：主要用于测定金属及其合金材料在室温状态下的拉伸、压缩或拉、压交变负荷的疲劳性能试验的机器。
主要技术指标：试验最大拉力为250KN
主要学科领域：机械工程
服务内容：主要用于测定金属及其合金材料在室温状态下的拉伸、压缩或拉、压交变负荷的疲劳性能试验的机器。
用户须知：1.该系统为高压系统，不正确使用和不配备适当的防护用品，会有一定的安全风险。 2.未经培训不得操作该仪器。 3.操作者必须佩戴安全眼镜和工作皮鞋。
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敞水螺旋桨动力仪
主要功能：船舶螺旋桨水动力测试与调校
主要技术指标：高度，仰角调节系统及与拖车连接,倾角范围± 15°；最大额定扭矩：±15Nm at 3000rpm；最大额定推力：±400N at 3000rpm、最大转速：3000rpm、推力和扭矩的瞬间过载量：50%
主要学科领域：交通运输工程
服务内容：船舶螺旋桨水动力测试与调校
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