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晶圆分析仪

主要功能：碳化硅衬底片和外延片的缺陷检测
主要技术指标：1.设备支持1寸-8寸晶圆测试，并保证完成全片整面检测。 2.设备支持非整晶圆的样片（如切片等）检测，进行手动放置自动检测。 3.设备可以检测的缺陷必须至少包括：划痕（scratch），凹坑（pit），突起（bump），微管（micropipe），胡萝卜（carrot），三角形（triangle），Downfall，堆垛层错缺陷（Stacking Fault），基平面位错（BPD）等各结晶及加工缺陷。 4.设备对晶圆各处具有相同的缺陷检测灵敏度的扫描方式，并且在晶圆的周边及整面同时检测出BPD和SF缺陷。 5.设备具备可提高颗粒物（particle）、划痕（scratch）检测精度的优化设计。 6.设备需包含10倍目镜镜头，对缺陷的最大放大倍数不低于130倍，单张图像对应的视场范围不小于1.5mm×1.5mm，具有图像拼接功能可以形成整晶圆的图像。 7.设备对晶圆的缺陷可以进行图像显示和图像保存，并提供清晰的图像，图像的像素尺寸要求：表面缺陷的像素尺寸≤1.75μm/Pixel，PL检测的缺陷像素尺寸≤3.5 μm/Pixel。 8.设备对缺陷的检测精度：可成功检出并分类的缺陷最小尺寸不大于4μm。 9.设备可以检测的晶圆厚度范围300μm-800μm。 10.PL检测系统同时满足SiC衬底片、薄外延片（外延厚度在10μm以内）以及厚外延片（外延厚度在10μm-70μm范围）的检测需求。
主要学科领域：物理学
服务内容：碳化硅衬底片和外延片的缺陷检测
用户须知：

已测试 32 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

双束聚焦离子刻蚀系统

主要功能：切割和纳米加工的作用，并有原位成像的辅助功能，加以辅助气体还能实现焊接。
主要技术指标：一、离子束 1. 分辨率：≤3.0nm@30kV； 2. 离子镜筒：Ion-sculpture镜筒； 3. 放大倍率范围不小于：300x~500kx； 4. 束流强度范围不小于：1pA-65nA； 5. 加速电压范围不小于：0.5kV-30kV；二、电子束 1. 分辨率：≤0.9nm@15KV；≤1.8nm@1kV； 2. 最大束流不低于20nA； 3. 放大倍率范围不小于：20x-2000kx； 4. 加速电压范围不小于：0.5kV-30kV；三、样品室及马达台系统 1. 样品室内部尺寸不小于330mm（宽）？330mm（深）？270mm（高）； 2. 六轴高精度超优中心全自动马达样品台：样品台XY方向移动范围不低于100mm，Z方向移动范围不低于10mm，倾斜角度T范围不小于-4°到60°，旋转角度R=360°； 3. 样品预交换室：可放置样品最大尺寸不小于80mm；四、电子束曝光 1. 设备连接后，保证可实现将电镜切换成外部扫描模式； 2. 通过图形发生器设定写场，同时扫描图像后保证图像水平和垂直方向正确； 3. 通过图形发生器实现控制束闸的开关； 4. 通过图形发生器实现扫描电镜和其工作台的远程控制； 5. 使用标样对写场进行校准；
主要学科领域：自然科学相关工程与技术
服务内容：原位失效分析，定点投射样品制备，三维重构等方面
用户须知：无

已测试 36 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

超导核磁共振波谱仪

主要功能：Max. Resolution： >100,000 Std Operating Resolution:60,000 @ m/z 400 Internal Standard - MS:< 2 ppm RMS with iLock
主要技术指标：Max. Resolution： >100,000 Std Operating Resolution:60,000 @ m/z 400 Internal Standard - MS:< 2 ppm RMS with iLock Internal Standard - MS/MS:< 2 ppm RMS with iLock External Standard - MS < 5 ppm (typically 1-3ppm) External Standard - MS/MS< 5 ppm (typically 1-3ppm) Mass range:50 to 4000 Da; split into low and high range,50 to 2000 and 200 to 4000Da Sensitivity: Sub femtomole.
主要学科领域：物理学
服务内容：化学,药学,材料科学,化学工程等
用户须知：

已测试 25 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

高精密多功能变坡试验水槽

要功能：1.支持弯道对桥墩、码头、防波堤等水工建筑物周围局部冲刷等研究；2.模拟天然河道不同曲率对水槽内水流、泥沙和植被等的影响，并可满足泥沙在自然河道中长时间远距离真实的运动；
主要技术指标：变坡直段32m×0.8m×1m定坡直段32m×3m×1m弯段中心半径为4m，弯段曲率180°最大流量：400L/s最小流量：40L/s最大实验水深：0.6m变坡范围为：0~1%。
主要学科领域：水利工程
服务内容：水工建筑物周围局部冲刷研究
用户须知：

已测试 3 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

综合物理测量系统

主要功能：综合物性测量系统（PPMS DynaCool）是一个强劲的低温、强磁场测试平台，用于测量样品的直流/交流磁化率，直流电输运，交流电输运，比热和热输运等性质
主要技术指标：（1）磁场范围：±9T；（2）扫场速率：0.1～200Oe/s；（3）温度范围: 1.9～400K；（4）温度稳定性：±0.1%（T<20K） ±0.02%（T>20K）
主要学科领域：材料学
服务内容：用于测量样品的直流/交流磁化率
用户须知：

已测试 28 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

测功机

主要功能：净功率试验、功率试验、活塞漏气量试验、机械损失试验、万有特性试验、负荷特性试验、机油消耗试验
主要技术指标：用于汽车用发动机性能台架试验方法，其中包括各种负荷下的动力性及经济性试验方法，无负荷下的起动、怠速、机械损失功率试验方法以及有关气缸密封性的活塞漏气量及机油消耗量试验方法等，用来评定汽车发动机的性能试验
主要学科领域：材料科学
服务内容：净功率试验、功率试验、活塞漏气量试验、机械损失试验、万有特性试验、负荷特性试验、机油消耗试验
用户须知：

已测试 6 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

超高真空材料制备与物性测量系统

主要功能：应用于高温高压系统下对不同类型的样品进行生长、表征和物性测量的系统。
主要技术指标：Agilent UHV-24P 离子规，DN35CF，测量范围：1x10-11 mbar - 1x10-3 mbar， 25FT 可烘烤控制线（最高烘烤温度 180度）； Agilent Pirani 真空规，1x10-4mbar – 大气压，5 米控制线，装在 nXDS10i 与EXT85DX 之间； Agilent XGS-600 真空规控制器（集成到真空控制及保护系统中），压力范围: 大气压～超高真空 (1x10-11 mbar)；测量通道: ≥6；
主要学科领域：物理学
服务内容：
用户须知：

已测试 3 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

电法探测仪

主要功能：进行海底多金属硫化物矿体电性勘探
主要技术指标：1) 勘探目标：海底硫化物； 2) 工作水深：≥4000m； 3) 适应海况：≤四级； 4) 重量：在相同功能条件下，以便于操作为宜； 5) 尺寸：  仪器舱拖体：≤长2.5m×宽0.8m×高1.0m，线圈拖体：≤长3m×宽1.2m×高0.8m；  单拖体电法探测仪：≤长3.0m×宽2.0m×高1.5m； 6) 工作方式：  拖曳离底高度30m~50m； 7) 探测深度：海底面以下不低于150m； 8) 拖曳速度：1~3kn； 9) 拖体姿态控制：纵摇角≤10°；横摇角≤10°； 10) 单次水下有效作业时间：≥10小时； 11) 探测分辨率：  水平优于2.5米；垂向优于2.5米；
主要学科领域：地球科学
服务内容：地球科学进行海底多金属硫化物矿体电性勘探
用户须知：无

已测试 5 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

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