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塞贝克系数扫描探针显微镜
电导率-塞贝克系数扫描探针显微镜
主要功能:热电性能测试/分析测试
主要技术指标:最小位移步长≤1μm;最大扫描区域:100mm×100mm;位置分辨率1μm。
主要学科领域:电子与通信技术
服务内容:电导率、塞贝克系数测试
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半自动手动探针台
主要功能:探针台具备支持直流/高频段射频微波测试、测试精度高、准确重复性好、系统集成能力强、性价比高等特点,能满足本项目对IV\CV及高频到110GHz RF特性测试的要求。
主要技术指标:1.载片台 1.1载片台尺寸不小于Φ210mm,可支持晶元、芯片及单器件进行IV/CV测试,RF测试,RF最高可升级支持1.1THz频率测试。 1.2 载片台支持器件尺寸,晶元Φ50mm-Φ200mm,单颗器件最小尺寸4mm*4mm。(最小器件正常都是正方形) 1.3 包含两个独立辅助载片台,尺寸不小于25mm*25mm,平坦度≤±5μm。 1.4 载片台采用完全独立的真空孔吸附,可分区吸附样品,并具备不少于4档分区独立真空控制开关。 1.5 xy方向移动范围:≥25×25mm,分辨率≤1μm,包含千分尺精细调节方式。 1.6 Y轴取放片行程≥90mm 1.7 Z轴可调范围0-20mm,调节分辨率<1.0μm 1.8.载片台360°旋转,精细调节范围≥±5° 2.针座平台 2.1针座平台材质采用不锈钢,表面镀镍。 2.2平台至少可容纳4个射频针座或者8个直流针座。 2.3平台可升降,z方向可移动范围:0-3mm。 2.4扎针一致性好,操作重复性≤1μm 2.5 Z方向接触分离高度小于等于300μm 2.6 兼容keysight/VDI/R&S等主流扩频模块。 3.显微镜系统 3.1采用单筒式高分辨率显微镜,含LED同轴光源 3.2 变焦比:不小于3.3x 3.3放大倍率范围不小于1.25-15倍,光学分辨率不小于1.6μm,综合放大倍率不小于400倍。 3.4 显微镜XY方向可独立移动,移动范围≥50mm×50mm,Z方向移动范围不少于140mm高度,显微镜支架采用高稳定桥式支架。 3.5 含高清CCD, 像素≥500万,配到连接CCD的显示器,可以实现图像的截屏、翻转、颜色处理等功能。 4.探针座、探针、光纤夹具及电缆 4.1 包含4套直流探针座,采用磁性吸附设计,XYZ方向行程均≥12.5mm 4.2 包含4套射频探针座,2套最高可兼容110GHz,两套最高可兼容67GHz。采用磁性吸附设计,XYZ方向行程均≥12.5mm。 4.3包含2根WR-10波导管。 4.4包含2根WR-15波导管。 4.5包含直流探针4盒,每盒25根,针尖半径7μm 4.6提供配套的探针及校准片。2根射频波导探针为75-GSG-100-BT,2根射频波导探针为120-GSG-100-BT,射频探针的信号排布为GSG。 4.7提供定制光纤夹持器,光纤角度可调节,兼容探针台及探针座。 4.8包含2组扩频模块连接套件,支持同轴或波导连接方式,可通过针座控制XYZ移动,X/Y/Z方向移动范围≥25mm/25mm/15mm,且扩频模块连接套件必须能够搭载扩频模块和探针一起实现Theta的旋转调整 5.屏蔽防震系统 5.1 屏蔽箱可以实现遮光、EMI屏蔽、高低温温控,防止静电噪声对测量的影响。 5.2 EMI屏蔽性能:≥30dB(typical)@1kHz to 1MHz 5.3 光衰减性能:≥130dB 5.4 光谱噪声基底:≤-180dBVrms/rtHz(≤1MHz) 5.5系统交流电噪声 ≤ 5 mVp-p (≤ 1 GHz) 5.6屏蔽指标是对应的机型。 6.校准软件 6.1 配置同品牌专业的校准软件,可以实现独有的1、2、3、4端口校准,和即时的、实时的数据测量和观察。 6.2 支持slot等形式的多线路TRL校准。 7.正压干燥系统及真空泵 7.1系统带有无油涡旋(非活塞式)进口空气压缩机,外形尺寸≤1275mm*700mm*1450mm(包含储气罐);排气量≥0.17m3/min、工作压力≥8bar、噪声≤53dB(A),含有冷却系统,储气罐含量≥270L。 7.2 系统采用进口膜式多级过滤干燥机,外形尺寸≤380mm*81mm;处理量≥0.14 m3/min、工作压力≥1.3bar、压力露点≤-20°C、出口粒子≤0.01微米、出口含油量<0.001mg/ m3、重量≤5kg。 7.3 提供无油免维护真空泵,空气流量达120L/min,噪音不超过60dB。 8.气浮式光学隔振平台。 8.1隔振平台尺寸不小于1000mm×900mm×100mm,采用不锈钢面板,阵列25mm×25mm M6螺孔。 8.2 提供无油空压机一台,减压阀一支。
主要学科领域:自然科学相关工程与技术
服务内容:涉及电力电子、新能源、通信等多个领域的研究。
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