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超景深显微镜
样品尺寸：重量不超过10kg，高度不超过200mm；
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三维扫描仪
HSCAN手持式激光三维扫描仪，采用多条线束激光来获取物体表面的三维点云。手持仪器并灵活移动操作，通过视觉标记来确定扫描仪在扫描过程中的空间位置，从而完成物体表面的三维点云整体重构。扫描仪可以方便携带到工业现场或者生产车间，并根据被扫描物体的大小和形状进行高效精确的扫描，使用操作过程灵活方便，适用各种复杂的应用场景。
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三坐标测量仪
只能做块体，样品需整体干净无污染；
要求样品长宽高为30~150mm之间 ，可以根据样品直接测量出工程图，可以测试表面平行度，孔的深度，测孔的话：孔径不小于2mm 。具体样品要求可以自行联系项目经理，根据测试需求确认。
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高速摄像系统
非接触性测量，可观察高速运动的物体，分辨率1280*860时可拍摄1981fps，连续拍摄时长>15分钟
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氦离子成像显微镜
主要功能：1. 可以快速加工纳米结构，加工精度10nm； 2. 电子束曝光； 3. 沉积材料：Pt、W、H2O等； 4. 微观形貌观察。
主要技术指标：1. 氦离子束：分辨率≤ 0.5 nm, 加速电压10-30 kV，束流强度0.1 pA- 100 pA； 2. 氖离子束：分辨率≤ 1.9 nm, 加速电压10-25kV，束流强度0.1 pA - 50 pA； 3. 镓离子束：分辨率≤ 3nm, 加速电压1-30 kV，束流强度1 pA - 100 nA； 4. 成像模式：二次电子。
主要学科领域：工程与技术科学基础学科
服务内容：薄膜刻蚀纳米孔；半导体电路中的切割和连接；可进行图形加工；聚焦离子束切割
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透射电子显微镜
主要功能：高分辨透射电子显微镜能够分辨晶体中原子排列，能完成材料的显微分析，晶粒形貌，晶体缺陷，纳米颗粒大小形态，界面结构，高分辨晶格像，微区成分分析等。通过EDX成份分析对纳米微区或微粒进行定性或定量分析。
主要技术指标：电子枪：场发射 分辨率： 点分辨率: ≤0.24nm 晶格分辨率: ≤0.14nm 加速电压: 加速电压≥200 kV，分档可调 放大倍率:≥1000,000倍
主要学科领域：材料科学,化学,物理学,药学
服务内容：在材料科学、物理学、化学、矿物学、地质、冶金工程、力学等领域皆可应用。
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透射电子显微镜(TF20)
主要功能：透射电子显微镜用来研究各种材料的物质内部显微结构，配合能谱仪附件可以对各种元素进行微区成分分析，提供了从微米直到原子尺度直接观察形貌、界面及晶体缺陷的技术，广泛应用于材料、物理、生物、化学、光电子及纳
主要技术指标：加速电压：200kV ? 电子枪：热场发射电子源，能量分辨率￡0.7eV；? 点分辨率：0 .24 nm；? 信息分辨率：0 .14 nm；? 线分辨率：0 .102 nm；
主要学科领域：材料科学
服务内容：主要用于分析检测、技术咨询
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200kV场发射透射电子显微镜
主要功能：测试样品内部形貌分析
主要技术指标：点分辨率≤0.23 nm，线分辨率≤0.10 nm，信息分辨率≤0.12 nm
主要学科领域：材料科学
服务内容：为样品提供形貌分析测试
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