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环境控制原子力显微镜
主要功能：该设备可以提供气相、液相下形貌、高度表征，力学性能、电学性能、磁学性能、STM、压电力性能测试，样品台加热（RT-250℃）测试，电化学液池测试。
主要技术指标：高分辨率：开环噪音 XY <8pm, Z<4pm 快速扫描：可以在几秒内快速成像 能精确控制气体或液体环境，控制样品的温度RT-250℃
主要学科领域：材料科学
服务内容：该设备可以提供气相、液相下形貌、高度表征，力学性能、电学性能、磁学性能、STM、压电力性能测试，样品台加热（RT-250℃）测试，电化学液池测试。
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高分辨SEM电子束曝光系统
主要功能：1. 高精度电子束曝光（主要功能）; 2. 电子束扫描显微镜成像功能; 3. 2018年配置X射线能量色散能谱: 元素定量分析和二维平面元素分析.
主要技术指标：1. 电子光学系统 ★分辨率：二次电子（SE）像 ≤ 1.0 nm @ 15k V；1.4 nm @ 1kV; 加速电压： 0.2kV－30KV。放大倍数误差 ：≤3 % ★电子枪：Schottky场发射电子枪，最大束流200nA ★ 物镜光阑：物镜光栏能自加热自清洁；无需拆卸镜筒即可更换物镜光阑。光阑采取马达驱动 二次电子和背散射电子成像系统：自动调节和手动调节亮度、对比度 2. 样品台：五轴马达驱动 ★样品台移动范围：X/Y≥110mm；Z≥65mm；样品台倾 斜角度：T≥-15～+75°；R=360°连续旋转。样品室尺寸：左右>379mm 3. 分析工作距离：5 mm 4. 数字图像记录系统 图像处理：最大61 44 x 4096像素； 图像显示：单幅图像显示或4帧图像同时显示 图像记录 : TIFF, BMP或JPEG; 图像漂移补偿DCFI. 5. 配置Elec trostatic Beam Blanker和Keithley Picomete r (皮安计) 6. 配置NPGS（纳米图形生成系统）9.1，能和NPGS无缝链接完成电子束曝光 7. 配置UHV腔体，有2个以上可扩展窗口，以备以后系统功 能扩展，比如做EDS和FIB扩展用
主要学科领域：材料科学
服务内容：1. 石墨烯／二维晶体电子器件的微纳米器件加工。 2. 石墨烯／二维晶体电子器 件的表征（SEM）。 3. 石墨烯／二维晶体的物性表征（SEM）。 4. 强 自旋－轨道耦合的拓扑量子材 料研究。 5. 物理系其他需要微纳米加工平台的课题小 组，如超导量子器件研究，纳米材料器件的研究等。
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原子力显微镜
主要功能：原子力显微镜常用于对纳米尺度样品的表面形貌进行表征，是目前所有高端显微镜中唯一能够提供原子级分辨率的显微镜。原子力显微镜能够在大气及液体环境下准确地观测样品表面微区(纳米及亚微米尺度)三维形貌，并可对所获得的三维形貌图像的粗糙度、厚度、步宽、颗粒度等信息进行分析。此外，原子力显微镜还可以对样品表面的物理特性进行研究，能够测试多种材料表面组分区别、温度、表面电势、磁场力、静电力、摩擦力、电流、扫描隧道显微。
主要技术指标："1. Z方向扫描范围：≥9 μm； 2. Z方向闭环噪声水平：< 0.035 nm； 3. XY方向扫描范围：≥90 μm x 90 μm； 4. XY方向闭环噪声水平：< 0.15 nm； 5. 热飘移速率：< 0.2 nm/Min； 6. 噪音：RMS < 0.3Å（垂直方向）；"
主要学科领域：信息与系统科学相关工程与技术
服务内容：原子力显微镜常用于对纳米尺度样品的表面形貌进行表征，是目前所有高端显微镜中唯一能够提供原子级分辨率的显微镜。原子力显微镜能够在大气及液体环境下准确地观测样品表面微区(纳米及亚微米尺度)三维形貌，并可对所获得的三维形貌图像的粗糙度、厚度、步宽、颗粒度等信息进行分析。此外，原子力显微镜还可以对样品表面的物理特性进行研究，能够测试多种材料表面组分区别、温度、表面电势、磁场力、静电力、摩擦力、电流、扫描隧道显微。
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全自动台式场发射扫描电子显微镜
主要功能：飞纳台式场发射扫描电镜能谱一体机标配背散射电子成像、二次电子电子成像和能谱分析功能，可对各种样品进行高分辨成像及元素分析。能量色散谱采用稳定坚固的超薄 Si3N4 窗口，元素检测范围 B (5) ~ Am (95)，对轻元素检测和低电压能谱分析更具优势。Phenom Pharos 低电压成像优势明显，可减轻电子束对样品的损伤和穿透，最大程度还原样品真实形貌。
主要技术指标：① 光学放大倍率：20~135倍； ②电子放大倍率：最高1,000,000倍； ③电子光学分辨率：优于1.8nm@15KV SED； ④电子枪加速电压：2kV~15kV连续可调； ⑤元素探测范围：B（5）~Am（95）；
主要学科领域：材料科学
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原子力显微镜
主要功能：1、在力测量中，原子力显微镜可以用来测量探针和样品之间的力，作为它们相互分离的函数。这可以应用于力谱分析，测量样品的机械特性。 2、对于成像来说，探针对样品施加在其上的力的反应可以用于以高分辨率形成样品表面的三维形状(形貌)的图像。这是通过光栅扫描样品相对于顶端的位置并记录对应于恒定探针-样品相互作用的探针高度来实现的。表面形貌通常显示为伪彩色图。 3、在操作中，顶端和样品之间的力也可以通过可控的方式来改变样品的性质。这方面的例子包括原子操作、扫描探针光刻和细胞的局部刺激。 在采集形貌图像的同时，可以局部测量样品的其他特性，并显示为图像，通常具有类似的高分辨率。这种性质的例子是机械性质，如硬度或粘合强度，以及电性质，如导电性或表面电势。
主要技术指标："1.系统主要工作模式1.1自动扫描模式1. 2轻敲模式1.3非接触模式成像1.4接触模式1.5磁力显微镜1.6表面电势显微镜1.7压电力显微镜2.扫描器系统Scanner*2. 1平板闭环设计扫描器，三轴运动方向正交。X-Y扫描器在样品下方,Z向扫描 器在样品上方；闭环控制XY方向扫描范围不小于100微米；Z方向闭环扫描范围 不小于15微米；Z方向噪声水平：闭环控制下，小于30pm (RMS) ; XY方向分辨 率：闭环控制下，不大于0. 25nm (RMS)。2.2进针方式：智能自动高速进针方式，釆用马达加压电陶瓷自动探测的智能进针 模式，以保护探针及样品。*2.3系统自动统计纳米力学成像模式，可以在高效得到样品图像同时，得到样品 表面刚度，杨氏模量，粘附力等力学信息；系统自动增强型静电力显微镜模式， 样品和针尖上均可加±10v电压，包括静电力显微镜，动态模式静电力显微镜，压 电力显微镜，表面电势显微镜。*2. 4配备高速扫描头，最大扫描线速度不低于50Hz；同时测试中可实现单线扫描 变速功能，遇到台阶样品台阶是速度自动降低，减少探针磨损。3.硬件系统Hardware3.1控制器额外内置三个独立锁向通道；单次测试不少于8通道，最高像素不低于 4096X4096；。*3. 2全自动X-Y位移台，样品台程序控制可自动跑满不小于200mm*200mm范围无 盲区，定位精度lum；自动进针系统，Z向马达程序控制；电动位移行程：25 mm。 *3.3必须采用同轴光源设计，物镜必须在样品的正上方，不采用物镜镜头斜视设 计。软件控制显微镜成像系统聚焦，系统可自动聚焦。3.4探针安装到扫描器上的固定方式釆用磁吸式，可以手持式安装，无需借助任何 辅助工具；不接受针脚固定方式固定探针夹。4.软件系统Software4.1具有智能测量模式，可智能自动设制实验参数，方便初学者或有大量样品情 况下进行操作实验；4.2具有下针反馈系统，利于快速下针，且避免撞针；4. 3测试及分析软件可终身免费升级(硬件允许情况下)；*4.4需配备中文界面软件操作系统具备程序化控制多点自动测试功能，自动数据 分析；5 防震隔音装置 Acoustic Enclosure System*5.1配备原厂隔音罩，可起到防风，防噪音等控制，隔温，尺寸不小于900 x800 x 1150 mm；并配备主动电磁式防震平台(非气浮减震台)。"
主要学科领域：物理学,生物学
服务内容：1、在力测量中，原子力显微镜可以用来测量探针和样品之间的力，作为它们相互分离的函数。这可以应用于力谱分析，测量样品的机械特性。
用户须知：无
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光电子显微镜
主要功能：通过观察样品表面发射的电子，可以获得极高分辨率的表面形貌、化学成分和磁性信息（横向分辨率最高可达到40nm）。
主要技术指标：Focus PEEM的电子光学系统包括三级静电透镜系统，结合精心设计的消像散器/偏转模块，使得Focus PEEM具有极高的空间分辨率。 1.符合VT-SPM UHV系统工作条件及安装要求 2.横向分辨率优于40nm 3.分析区域的尺寸连续可调，最小分析区域直径5微米，最大分析区域直径600微米 4.仪器面板操作控制或计算机软件控制 5.计算机数据采集、处理，最高12.5幅/秒采集速度 6.可选配集成样品台，提供高的稳定性和定位精度以及信噪比 7.样品可加热至约2000度
主要学科领域：材料科学
服务内容：
用户须知：专业仪器，非专业人员不得操作
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扫描探针显微镜
主要功能：主要功能： 扫描探针显微镜利用具有纳米量级曲率半径的微探针在样品表面往复扫描，通过探测样品与纳米探针之间的相互作用力来获取样品的基本物性，主要用于测量材料的表面形貌、粘弹性、压电力、摩擦力等表面性质。Dimension Icon 型扫描探针显微镜主要测试功能包括：表面三维形貌（粗糙度）测试、静电力显微镜（EFM）模式、磁力显微镜（MFM）模式、摩擦力显微镜（LFM）模式、压电力显微镜（PFM）模式、导电原子力显微镜（C-AFM）模式、扫描电容显微镜（SCM）模式、开尔文探针力显微镜（KPFM）模式等。
主要技术指标：技术指标：最大扫描范围：XY方向90 μm； Z方向10 μm ？ 可支持样品尺寸：直径≤210 mm ;厚度≤15 mm ？ XY方向定位噪音(闭环)：≤ 0.15nm RMS ？ Z方向噪音 (闭环)：≤ 0.035nm RMS
主要学科领域：材料科学
服务内容：需要提前进行测试预约，并与管理员确认测试内容
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纳米检测显微镜
主要功能：涵盖了低倍到高倍观察，并配有多种观察方法可以迅速发现观察对象。 可以完成低倍到高倍的大范围倍率观察。不仅如此，先进光学技术打造的光学显微镜带来多种观察方法，可以容易的发现观察对象。此外，对于光学显微镜难以找到的观察对象，还可以使用激光显微镜进行观察。在激光微分干涉（DIC） 观察中，可以进行纳米级微小凹凸的实时观察。
主要技术指标：涵盖了低倍到高倍观察，并配有多种观察方法可以迅速发现观察对象。 可以完成低倍到高倍的大范围倍率观察。不仅如此，先进光学技术打造的光学显微镜带来多种观察方法，可以容易的发现观察对象。此外，对于光学显微镜难以找到的观察对象，还可以使用激光显微镜进行观察。在激光微分干涉（DIC） 观察中，可以进行纳米级微小凹凸的实时观察。
主要学科领域：力学
服务内容：涵盖了低倍到高倍观察，并配有多种观察方法可以迅速发现观察对象。 可以完成低倍到高倍的大范围倍率观察。不仅如此，先进光学技术打造的光学显微镜带来多种观察方法，可以容易的发现观察对象。此外，对于光学显微镜难以找到的观察对象，还可以使用激光显微镜进行观察。在激光微分干涉（DIC） 观察中，可以进行纳米级微小凹凸的实时观察。
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