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透射电子显微镜主机＋电子枪
主要功能：微观形貌结构表征，微观形貌结构表征
主要技术指标：线分辨率<=0.19nm，放大倍数1500K倍
主要学科领域：材料科学
服务内容：探测微观形貌结构表征
用户须知：
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10
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7
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双束扫描电镜FIB2
主要功能：聚焦离子束（FIB）扫描电镜可在纳米尺度利用离子轰击样品表面，实现材料的剥离、沉积、注入等加工工艺，同时还具有扫描电子显微镜（SEM）的成像功能、TEM透射电镜样品制备、薄膜断面样品制备、二次电子成像、背散射电子成像、EDS能谱分析、微纳加工等功能。
主要技术指标：分辨率：电子束：0.6nm@15kV（最佳工作距离）；
主要学科领域：材料科学
服务内容：分析检测、技术咨询，需要提前预约
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23
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120kV透射电镜
主要功能：1. 可用于常温细胞生物学超微结构研究和生物大分子样品检测。 2. 可完成材料显微形貌分析、材料物质内部显微结构电子衍射分析。可对纳米超微材料（石墨烯、MOF、碳管等）、高分子材料（聚合物超薄切片、橡胶超薄切片、凝胶、胶束）等各种材料进行观察和分析研究。
主要技术指标：120 kV热发射电子枪（LaB6灯丝）；点分辨率0.37nm，线分辨率0.204nm；配有底插式4K*4K Ceta相机
主要学科领域：生物学
服务内容：1. 可用于常温细胞生物学超微结构研究和生物大分子样品检测。 2. 可完成材料显微形貌分析、材料物质内部显微结构电子衍射分析。可对纳米超微材料（石墨烯、MOF、碳管等）、高分子材料（聚合物超薄切片、橡胶超薄切片、凝胶、胶束）等各种材料进行观察和分析研究。
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20
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7
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蔡司场发射扫描电镜
蔡司高分辨分析型场发射扫描电镜
主要功能：在满足常规的SEM成像应用外，蔡司Gemini450 SEM具备对样品更快的响应和更高的表面灵敏度，Gemini2电子光学镜筒可以快速连续的调节电子束流，对样品进行表面成像，以及快速便捷的EDS能谱和EBSD分析，对不导电样品、磁性样品同样可以高效分析。该电镜配备了蔡司的In-lens SE、In-lens EsB、样品室内E-T SE、aBSD 探测器用于成像分析；蔡司的CL探测器用于阴极荧光成像表征、牛津的EDS、EBSD探测器用于样品的能谱和电子背散射衍射分析。结合以上配置，该设备具备强大的分析功能，满足多种材料多种领域的电镜分析要求。 In addition to routine topography SEM applications, Zeiss Gemini 450 SEM stands for high detecting efficiency and more surface sensitivity for samples. Gemini2 optics offer seamlessly between low and high beam currents, which are suitable for high resolution imaging and fast EDS or EBSD analysis. Even non-conductive or magnetic samples can be imaged easily. This SEM is equipped with In-lens SE、In-lens EsB、chamber E-T SE、aBSD detectors for surface topography, and CL, EDS, EBSD detectors for analytics. This SEM has excellent analysis functions supported with the equipped detectors, and offers various applications for samples.
主要技术指标："电镜分辨率(SE): 0.7 nm @15 kV，2.0nm@15kV, 5nA, WD 8.5mm； 40nA 高分辨GEMINI Ⅱ系统，无漏磁设计，束流连续调节； 配备能谱仪：无窗设计，有效晶体面积100mm2，元素可探测至Li3，最大计数率：130,000cps 配备EBSD探测器：采用CMOS图像传感器技术，分辨率：1244*1024 pixel resolution/240pps，156*128pixel resolution/3000pps 配备阴极荧光探测器：用于CL成像分析，波长范围/wave range : 300-650nm Resolution(SE): 0.7 nm @15 kV，2.0nm@15kV, 5nA, WD 8.5mm 40nA maximum resolution configuration GEMINI Ⅱ,Enabling continuous beam current adjustment and no exposure of specimen to a magnetic field EDS Detector: Windowless detector, possible sensor size up to 100mm2; Detecting X-rays down to Li(54eV); Resolution@130,000cps EBSD Detector: CMOS sensor technology, 1244*1024 pixel resolution/240pps, 156*128pixel resolution/3000pps CL Detector: wave range 300-650nm
主要学科领域：材料科学
服务内容：在满足常规的SEM成像应用外，蔡司Gemini450 SEM具备对样品更快的响应和更高的表面灵敏度，Gemini2电子光学镜筒可以快速连续的调节电子束流，对样品进行表面成像，以及快速便捷的EDS能谱和EBSD分析，对不导电样品、磁性样品同样可以高效分析。该电镜配备了蔡司的In-lens SE、In-lens EsB、样品室内E-T SE、aBSD 探测器用于成像分析；蔡司的CL探测器用于阴极荧光成像表征、牛津的EDS、EBSD探测器用于样品的能谱和电子背散射衍射分析。结合以上配置，该设备具备强大的分析功能，满足多种材料多种领域的电镜分析要求。 In addition to routine topography SEM applications, Zeiss Gemini 450 SEM stands for high detecting efficiency and more surface sensitivity for samples. Gemini2 optics offer seamlessly between low and high beam currents, which are suitable for high resolution imaging and fast EDS or EBSD analysis. Even non-conductive or magnetic samples can be imaged easily. This SEM is equipped with In-lens SE、In-lens EsB、chamber E-T SE、aBSD detectors for surface topography, and CL, EDS, EBSD detectors for analytics. This SEM has excellent analysis functions supported with the equipped detectors, and offers various applications for samples
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热场高分辨扫描电镜
主要功能：用于高分子材料、半导体材料、化工原料、地矿物品、金属材料等领域的有机和无机材料样品的微区形貌分析和微区成分分析。
主要技术指标：分辨率：优于1.2nm (InLens@1kV);0.7nm (InLens@15kV);1.2nm (EsB@1kV)
主要学科领域：材料科学
服务内容：高分子材料、半导体材料、化工原料、地矿物品、金属材料等领域的有机和无机材料样品的微区形貌分析和微区成分分析。
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冷场发射扫描电子显微镜
主要功能：高分辨率观察样品表面超微结构
主要技术指标：配有冷指、电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能，分辨率1.3nm
主要学科领域：化学工程
服务内容：样品表面超微结构分析
用户须知：无
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高分辨扫描电子显微镜
主要功能：微区形貌分析，分析和检测有机和无机材料微纳米级样品的表面特征形貌。广泛应用于高分子材料、半导体材料、化工原料、地矿物品、金属材料等领域。 微区成分分析，配置的高灵敏能谱探头是水平放置于电镜极靴正下方，探头由四个独立的硅漂移芯片组成，特别适用于在低束流下分析束流敏感样品，比如生物或半导体样品；分析表面不平整样品，可消除阴影效应；在低加速电压和高放大倍数下，分析纳米颗粒和纳米结构。
主要技术指标：1、二次电子分辨率： 0.7 nm (加速电压 15 kV，工作距离4 mm) 0.9 nm (着陆电压 1.0kV，工作距离1.5 mm)(减速模式) 2、放大倍率：20x~1,000,000x 3、加速电压：0.5 kV~ 30 kV 4、工作距离：1.5mm~40mm 5、能谱元素分析范围：Be4-Cf98 6、能谱分辨率：Mn Ka优于129eV
主要学科领域：材料科学
服务内容：需要提前进行测试预约，并与管理员确认测试内容
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高分辨冷场发射扫描电子显微镜
主要功能：扫描电子显微镜是用于试样的显微形貌观察及微区成分分析的必备手段，其特点是景深长，图像层次丰富，立体感强，样品制作简单，不必作超薄切片。该设备是一台高分辨冷场发射扫描电镜，其分辨率为0.6nm（15kV），配置了SE/BSE/STEM探头，以及牛津的无窗能谱仪，可以进行表面形貌观察，微区成分分析，也可以进行STEM分析，可以得到高分辨成分像。
主要技术指标：场发射扫描电镜主机(包括真空系统、电子光学系统、检测器系统)，检测器包括Top（带能量过滤功能）、Upper和Lower三个二次电子探测器，背散射电子检测器，STEM 检测器。样品交换仓配备等离子清洗装置（Plasma XEI），配备牛津无窗能谱仪（Ultim EXTREME）。 SE分辨率 15KV：0.6nm (工作距离4mm)，1KV：0.7nm（工作距离1.5mm，减速模式） BSE分辨率 15KV：3nm STEM分辨率 30KV：0.8nm，加速电压：0.01 ~ 30kV 放大倍数：20-2，000，000倍 电子枪类型：冷场发射电子枪 探测器：具有Top（带能量过滤功能）、Upper和Lower三个二次电子探测器，顶位探测器可选择接收二次电子像或背散射电子信号，高位探测器可选择接收二次电子或背散射电子信号，并以任意比例混合。在低压下（小于1kV）可以得到背散射电子图像。背散射电子检测器，接受背散射电子信号。STEM 检测器，测试BF/DF/HAADF像 能谱仪：探测器：无窗型斜插电制冷探测器；能量分辨率：Mn Kα保证优于127eV, 元素分析范围: Be4～Cf98，元素分析下限: Li3
主要学科领域：材料科学
服务内容：形貌观察、元素分析、镀金、培训
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