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原子力显微镜
主要功能:利用针尖与材料表面原子之间作用力,来获取材料表面的三维纳米尺度图像;自动测量软件和高速扫描系统完美结合,大幅提高了实验数据 的可信度和可重复性;可以对不同样品进行测量,保证高度从埃级到100多纳米的样品高精度无失真扫描;在不降低分辨力,不增加设备复杂性的条件下,即时快速得到高分辨高质量AFM图像
主要技术指标:●接触模式、液态成像模式、智能扫描模式、相位成像技术等测量模式 ●XY方向最大扫描速度>2 mm / s ●Z方向最大扫描速度>12 mm / s ●最大扫描速度大于125 HZ
主要学科领域:材料科学
服务内容:分析与测试,检测结果输出
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场发射扫描电镜热场
场发射扫描电镜热场Sirion200(SEM5)
主要功能:在各种操作模式下分析导电和不导电样品,得到二次电子像和背散射电子像。对多种样品都可以进行EDS分析工作的快速、准确。电镜可作为一个微观实验室。对多种样品保持其原始状态下进行动态原位分析。对导电样品,可选用减速模式得到表面和成份信息。
主要技术指标:分辨率在加速电压5kv下为3.0nm,10kv下2.0nm,5kv下1.0nm
主要学科领域:物理学
服务内容:服务于获得样品二次电子像和背散射电子像
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高分辨SEM电子束曝光系统
主要功能:1. 高精度电子束曝光(主要功能); 2. 电子束扫描显微镜成像功能; 3. 2018年配置X射线能量色散能谱: 元素定量分析和二维平面元素分析.
主要技术指标:1. 电子光学系统 ★分辨率:二次电子(SE)像 ≤ 1.0 nm @ 15k V;1.4 nm @ 1kV; 加速电压: 0.2kV-30KV。放大倍数误差 :≤3 % ★电子枪:Schottky场发射电子枪,最大束流200nA ★ 物镜光阑:物镜光栏能自加热自清洁;无需拆卸镜筒即可更换物镜光阑。光阑采取马达驱动 二次电子和背散射电子成像系统:自动调节和手动调节亮度、对比度 2. 样品台:五轴马达驱动 ★样品台移动范围:X/Y≥110mm;Z≥65mm;样品台倾 斜角度:T≥-15~+75°;R=360°连续旋转。样品室尺寸:左右>379mm 3. 分析工作距离:5 mm 4. 数字图像记录系统 图像处理:最大61 44 x 4096像素; 图像显示:单幅图像显示或4帧图像同时显示 图像记录 : TIFF, BMP或JPEG; 图像漂移补偿DCFI. 5. 配置Elec trostatic Beam Blanker和Keithley Picomete r (皮安计) 6. 配置NPGS(纳米图形生成系统)9.1,能和NPGS无缝链接完成电子束曝光 7. 配置UHV腔体,有2个以上可扩展窗口,以备以后系统功 能扩展,比如做EDS和FIB扩展用
主要学科领域:材料科学
服务内容:1. 石墨烯/二维晶体电子器件的微纳米器件加工。 2. 石墨烯/二维晶体电子器 件的表征(SEM)。 3. 石墨烯/二维晶体的物性表征(SEM)。 4. 强 自旋-轨道耦合的拓扑量子材 料研究。 5. 物理系其他需要微纳米加工平台的课题小 组,如超导量子器件研究,纳米材料器件的研究等。
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全自动台式场发射扫描电子显微镜
主要功能:飞纳台式场发射扫描电镜能谱一体机标配背散射电子成像、二次电子电子成像和能谱分析功能,可对各种样品进行高分辨成像及元素分析。能量色散谱采用稳定坚固的超薄 Si3N4 窗口,元素检测范围 B (5) ~ Am (95),对轻元素检测和低电压能谱分析更具优势。Phenom Pharos 低电压成像优势明显,可减轻电子束对样品的损伤和穿透,最大程度还原样品真实形貌。
主要技术指标:① 光学放大倍率:20~135倍; ②电子放大倍率:最高1,000,000倍; ③电子光学分辨率:优于1.8nm@15KV SED; ④电子枪加速电压:2kV~15kV连续可调; ⑤元素探测范围:B(5)~Am(95);
主要学科领域:材料科学
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300mm口径激光干涉仪
主要功能:可以测量光学镜片、镜头的面型等光学性能。
主要技术指标:1.菲索机械移相式激光干涉仪; 2.校准系统:快速条纹采样系统,双CCD,独立校准十字屏幕; 3.测量光束直径:≥4英寸; 4.激光功率:~1mW; 5.波长及频率稳定性:633nm,<0.0001nm; 6.成像分辨率:≥1200*1200像素; 7.帧速:≥160Hz; 8.RMS重复性:≤0.06nm,λ/10000(2σ); 9.RMS波前重复性:≤0.35nm,λ/1800(mean+2σ); 10.具有抗震机械移相模式,可以在无抗震平台条件下做机械移相式测量。 12寸扩束系统
主要学科领域:工程与技术科学基础学科
服务内容:具体服务内容需要面议。
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钨灯丝扫描电子显微镜
主要功能:该设备具有高分辨率,能做各种固态样品表面形貌的二次电子像、背散射电子像观察及图像处理。配备X射线能谱仪,能对样品表层的微区点线面元素进行定性及半定量分析,具有形貌、化学组分综合分析能力。与一般扫描电镜相比,它能以更高的分辨率观察固体样品表面显微结构和形貌,是研究材料表面结构与性能关系的重要工具。由于分辨率高,为纳米材料的研究提供了可靠的实验手段。可对金属、无机非金属、高分子材料及生物样品等的表面显微结构和形貌进行分析。
主要技术指标:1、分辨率:≤0.8 nm;2、放大倍率:≥80万倍;3、加速电压:0.2-30KV;4、 检测器:具有检测SE和BSE信号功能; 5、可选配STEM,EDX等附件
主要学科领域:材料科学,能源科学技术,化学,化学工程
服务内容:将在材料科学、化学、生命科学、医学、化学化工、环境科学、地学等领域的基础研究中应用广泛。
用户须知:无
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