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ICP干法刻蚀机

主要功能：主要功能：等离子刻蚀是利用高频辉光放电效应，使反应气体激活成活性粒子，如原子或游离基，这些活性粒子扩散到需刻蚀部位，与被刻蚀材料进行反应，形成挥发性反应物而被去除。其优势在于快速的刻蚀速率同时可获得良好的物理形貌。
主要技术指标：1. 反应腔室本底真空： < 1 x 10-6 mbar (1x 10-4 Pa)，抽真空2小时后 2. 反应腔室漏率： < 5 x 10-4 mbar？l/s 3. 预真空室本底真空： < 1 x 10-1 mbar (10 Pa) 4. 预真空室漏率： < 5 x 10-4 mbar？l/s 5. 样片操作：不同设置：样片进/出 6. 气路系统：测试所有质量流量计（设定值10%, 50%, 90%） 7. 压力控制：压力计/控制阀，不同压力 8. 下电极温度控制：不同设置，-30oC~ +200oC（带循环冷却器Chiller）或RT~ +250oC（外接冷却水） 9. 等离子体测试：不同设置（Ar或N2） 10. 反射功率： ≤ 1%，ICP功率 ≥ 500 W≤ 5 W，ICP功率 < 500 W 11. 其他：安全互锁、运行工艺处方（Recipe）等 12. SiC刻蚀工艺 Cr掩膜刻蚀深度：≥ 2 μm 刻蚀速率：≥ 400 nm/min 选择比：≥ 40:1 （SiC: Cr）片上不均匀性：在50 mm范围内 ≤ ±4%（6mm边除外）批间不均匀性：≤ ±5% 陡直度：85° ～ 90° 13. GaAs/AlGaAs刻蚀工艺光刻胶掩膜刻蚀深度：≥ 2 μm 刻蚀速率：≥ 400 nm/min 选择比：≥ 5:1 （GaAs: 光刻胶）片上不均匀性：在100 mm范围内 ≤ ±4%（6mm边除外）批间不均匀性：≤ ±5% 陡直度：90° ±2° 14. InP刻蚀工艺 SiO2掩膜刻蚀深度：≥ 20 μm 刻蚀速率：≥ 500 nm/min 选择比：≥ 15:1 （InP: SiO2）片上不均匀性：在100 mm范围内 ≤ ±4%（6mm边除外）批间不均匀性：≤ ±5% 陡直度：90° ±3°
主要学科领域：材料科学,物理学,电子与通信技术,动力与电气工程
服务内容：共享学科：材料学科、机械学科、电力电子学科和半导体学科。
用户须知：

已测试 3 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

动静态万能机高低温烘箱

动静态万能试验机+高低温烘箱
主要功能：在高温和低温状态下进行多种低周和高周疲劳试验、裂纹扩展和断裂韧度试验，以及其它动态试验
主要技术指标：最大工作压力207bar
主要学科领域：材料科学
服务内容：在高温和低温状态下进行多种低周和高周疲劳试验、裂纹扩展和断裂韧度试验，以及其它动态试验
用户须知：

已测试 10 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

太阳能塔式定日镜场试验平台

高精度太阳能塔式定日镜场及智能控制试验平台
主要功能：1. 主要包括定日镜设备本体、境场控制系统、校正系统 1.1试验平台工作温度-20~50℃，工作湿度0%~85%； 1.2 定日镜平均跟踪精度≤4mrad； 2. 定日镜设备本体 2.1 主要包括本体反射镜、定日镜支架及基础、传动部件； 2.2 反射镜面积≥1400m2，反射率≥92%； 2.3 定日镜最大运行风速14m/s，破坏风速30m/s； 2.4 设计寿命25年； 2.5 具有初始化、自检、预备、追日、校正、清洗、关场、安全等运行模式； 3. 境场控制系统 3.1 每台定日镜配置一台控制器，负责该定日镜的运动控制和运行状态上传； 3.2 控制器达到防水、防雾和防尘等级IP55； 3.3 控制系统具有发送操作命令、批量控制定日镜、报警等功能； 3.4 不同聚光焦点位置的切换以及定日镜投入数目的选择； 3.5 控制系统留有接口可以扩展定日镜面积（数量）至3000m2以上； 4. 提供光斑误差校正系统，全境场校正时间＜60天；
主要技术指标：1. 主要包括定日镜设备本体、境场控制系统、校正系统 1.1试验平台工作温度-20~50℃，工作湿度0%~85%； 1.2 定日镜平均跟踪精度≤4mrad； 2. 定日镜设备本体 2.1 主要包括本体反射镜、定日镜支架及基础、传动部件； 2.2 反射镜面积≥1400m2，反射率≥92%； 2.3 定日镜最大运行风速14m/s，破坏风速30m/s； 2.4 设计寿命25年； 2.5 具有初始化、自检、预备、追日、校正、清洗、关场、安全等运行模式； 3. 境场控制系统 3.1 每台定日镜配置一台控制器，负责该定日镜的运动控制和运行状态上传； 3.2 控制器达到防水、防雾和防尘等级IP55； 3.3 控制系统具有发送操作命令、批量控制定日镜、报警等功能； 3.4 不同聚光焦点位置的切换以及定日镜投入数目的选择； 3.5 控制系统留有接口可以扩展定日镜面积（数量）至3000m2以上； 4. 提供光斑误差校正系统，全境场校正时间＜60天；
主要学科领域：能源科学技术
服务内容：
用户须知：提前一个月申请

已测试 57 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

12寸半自动探针台

主要功能：在晶片测试时,能有效地屏蔽光及电磁波干扰,且可在-55~300度的环境下进行直流 IV/CV参数（漏电流为fA级）提取;或可以进行S参数（频率可高达110GHZ）的测试。
主要技术指标：1、载片台可实现四维运动, 直径≥310 mm，平坦度＜±12μm;最大耐压值Forceto-GND ≥ 600VDC，Force-to-Guard ≥600V DC；2、载物台最小支持4x4 mm样品吸附，可单独控制75mm、150mm、200mm、300 mm吸附区域的开关。3、载物台XY移动范围≥ 310 mm x 310 mm，移动分辨率≤0.5 μm，移动精度≤± 2.0μm，最大移动速度≥50 mm/sec。4、Z方向移动范围≥30 mm，移动分辨率≤0.2 μm，移动精度≤± 2μm，重复精度≤±1μm。5、载物台Theta旋转范围≥±5.0°，旋转分辨率≤0.0001°，旋转精度< 2.0 μm，重复精度<1.0μm。6、支持-60℃至 300℃高低温环境的测试；7、探针台台面与载物台高度≥48mm,
主要学科领域：自然科学相关工程与技术
服务内容：电子信息工程、飞行器设计与工程、光电信息科学与工程、信息工程、电子科学与技术、信息与通信工程、电子信息技术及仪器、船舶与海洋工程、机械电子工程等主要应用在半导体/微电子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMs，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。
用户须知：

已测试 212 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

平行反应器(带高低温工作站)

主要功能：主要用于有机合成平行实验
主要技术指标：1、英国UK/Radleys，Mya 4自动化反应工作站主机，RR40400； 2、英国UK/Radleys，歧管式机头，RR40404； 3、英国UK/Radleys，顶置搅拌器，RR40406； 4、英国UK/Radleys，涡轮式PTFE搅拌桨，276×35mm，RR40704； 5、英国UK/Radleys，PTFE涂层Pt100温度探针，RR40410； 6、英国UK/Radleys，PTFE涂层Pt100温度探针适配器，RR40416； 7、英国UK/Radleys，5口PTFE反应釜盖+连接件，中央B14口，周围2个B14口，2个，B10口，1个，RR40752 8、英国UK/Radleys，400mL过程反应釜釜体，RR40540； 9、英国UK/Radleys，B14/23口冷凝管，RR40556； 10、中国China/合臣科技，HC-2017循环水冷却器； 11、英国UK/Radleys，管路，2米，每组2根，RR40630。
主要学科领域：化学工程
服务内容：用于有机合成平行实验
用户须知：

已测试 3 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

变温器件电学特性测试系统

主要功能：单独或同时改变测试环境的温度、磁场方向和磁场强度，利用探针台测试半导体器件的直流/射频电学特性（包含电容、电流、电压等参数）
主要技术指标：1，设备结构（1）设备测试类型：探针台（2）探针臂：3个直流探针臂（直流到50MHz射频测量）；2个微波臂（〉40GHz射频测量）；探针臂漏电流小于100fA （3 ）测试位置范围：不小于X=50mm，Y=20mm，Z=15mm 2，变温系统指标（1）温度范围：10-500K （2）采用闭循环制冷机制冷，不消耗液氮或液氦（3）冷头需维护时间不少于10000小时，压缩机需维护时间不少于30000小时，国内能提供原厂维护 3 ，磁场系统指标：（1）±2.5T@〈10K，±2T@10-400K，±1T@400-500K （2）磁场均匀性：1%@10mm直径；1.5%@25mm直径
主要学科领域：自然科学相关工程与技术
服务内容：1，半导体器件的性能（尤其是在低温、磁场状态下的电学性能）表征与评价 2，半导体器件的参数提取，如反型层载流子浓度、器件寄生电容、迁移率 3，半导体器件的失效机制评价。
用户须知：

已测试 19 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

微量热泳动分子互作仪

主要功能：微量热泳动分子互作仪微量热泳动分子互作仪微量热泳动分子互作仪
主要技术指标：微量热泳动分子互作仪微量热泳动分子互作仪微量热泳动分子互作仪
主要学科领域：生物学
服务内容：全自动分析系统全自动分析系统全自动分析系统
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已测试 71 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

震源G枪及配套设备

主要功能：该套设备主要用于海洋地震调查，适用于海洋区域地质、油气地震和工程地质调查多个调查领域。它主要由两个部分组成：空气枪震源阵列、气枪炮缆，是一套配置灵活、枪阵可变的空气枪震源系统。
主要技术指标：G枪，具有操作简单，防震功能设计，激发式无后座力，与采购方目前拥有的气枪能够配套使用，方便备件储备和维修。工作压力2000psi~3000psi，震源输出频宽5-120赫兹(沉放深度5米时) 震源输出主频(-6分贝为限) 10-70赫兹(沉放深度5米时)。
主要学科领域：环境科学技术及资源科学技术
服务内容：该套设备主要用于海洋地震调查，适用于海洋区域地质、油气地震和工程地质调查多个调查领域。它主要由两个部分组成：空气枪震源阵列、气枪炮缆，是一套配置灵活、枪阵可变的空气枪震源系统。
用户须知：

已测试 31 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

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