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  • 程序升温化学吸附分析仪TPD/TPR/TPO
  • 项目简介
  • TPD:主要用来研究催化剂表面吸附中心的类型和数量 常规气氛:NH3,CO2,O2,H2,CO(常规都是10%混合气),常规条件测到800℃
  • TPR:主要用来研究活性组分、助剂及载体之间的相互作用力;催化剂的还原性质;各种催化效应(氢溢流现象、协同效应及合金化效应等);常规气氛:H2,CO(常规都是10%混合气),常规条件测到800℃
  • TPO:主要活性金属比表面积以及催化剂失活和再生等;O2(常规都是10%混合气)
  • 脉冲:主要测金属的分散度情况;常规气氛:CO、H2
  • 仪器检测器:TCD,质谱
  • TPD用来测量某固体酸碱的强度和数量。例如:碱性气体在酸性中心上吸附时,吸附在强酸中心上的比吸附在弱酸中心上的稳定,也更难脱附,提高温度可令其从酸性中心上脱附,而那些在弱酸中心上的将首先脱附,因此测定在不同温度下脱附的吸附碱相对量可测定酸中心强度,而脱附的碱性气体的量也就对应其酸量。常用的碱性气体有氨气,常用的酸性气体用CO2
  • TPR常应用于表征负载型金属或过渡金属氧化物催化剂,对TPR结果进行分析可以获得金属与载体的相互作用,金属的价态和是否形成合金等方面的信息。当负载的金属的价态,聚集状态,与载体的作用发生改变的时候,其还原温度,还原后的价态将会发生改变,如果能测出程序升温还原过程中氢气的消耗量,还原温度等,就能得到负载金属的一些状态参数。通入氢气或氢气与惰性气体混合气。
  • TPD或者TPR定量方法大致如下(不是唯一标准):可以通过注射一定量的氨气或氢气来建立峰面积与气体摩尔数的标准曲线的,然后利用这个标准曲线通过样品的峰面积反推得到样品表面吸附气体的量来定量。
  • 脉冲测分散度:测试时候只吸附没有脱附;每次脉冲都是固定的量,比如是0.5ml,常温常压下,一般的材料物理吸附可以忽略;看脉冲多少次能吸附饱和,每次吸附的量都可以计算,然后根据暴露的一个金属原子吸附固定个氢原子(参考文献),来进行计算样品待测金属元素分散度(需要告知准确的金属含量)。但是如果样品负载不同的贵金属,没法区分元素测出不同金属的分散度。
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  • 样品要求
  • 1、常规都是粉末、颗粒状样品,粒度为 40-80目;
  • 2、样品需充分干燥,样品量不得少于100mg;
  • 3、如有块状、薄膜样品需考虑气体分子能否扩散到样品里面,需要事先跟客户经理沟通确认;
  • 4、要求样品不含S、卤素等,测试温度范围内,样品稳定,不能产生腐蚀性气体。
已测试 32 次 平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意
  • 主要功能:碳化硅衬底片和外延片的缺陷检测
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  • 主要技术指标:1.设备支持1寸-8寸晶圆测试,并保证完成全片整面检测。 2.设备支持非整晶圆的样片(如切片等)检测,进行手动放置自动检测。 3.设备可以检测的缺陷必须至少包括:划痕(scratch),凹坑(pit),突起(bump),微管(micropipe),胡萝卜(carrot),三角形(triangle),Downfall,堆垛层错缺陷(Stacking Fault),基平面位错(BPD)等各结晶及加工缺陷。 4.设备对晶圆各处具有相同的缺陷检测灵敏度的扫描方式,并且在晶圆的周边及整面同时检测出BPD和SF缺陷。 5.设备具备可提高颗粒物(particle)、划痕(scratch)检测精度的优化设计。 6.设备需包含10倍目镜镜头,对缺陷的最大放大倍数不低于130倍,单张图像对应的视场范围不小于1.5mm×1.5mm,具有图像拼接功能可以形成整晶圆的图像。 7.设备对晶圆的缺陷可以进行图像显示和图像保存,并提供清晰的图像,图像的像素尺寸要求:表面缺陷的像素尺寸≤1.75μm/Pixel,PL检测的缺陷像素尺寸≤3.5 μm/Pixel。 8.设备对缺陷的检测精度:可成功检出并分类的缺陷最小尺寸不大于4μm。 9.设备可以检测的晶圆厚度范围300μm-800μm。 10.PL检测系统同时满足SiC衬底片、薄外延片(外延厚度在10μm以内)以及厚外延片(外延厚度在10μm-70μm范围)的检测需求。
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  • 主要学科领域:物理学
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  •  服务内容:碳化硅衬底片和外延片的缺陷检测
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  •  用户须知:
已测试 32 次 平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意
  • 主要功能:切割和纳米加工的作用,并有原位成像的辅助功能,加以辅助气体还能实现焊接。
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  • 主要技术指标:一、 离子束 1. 分辨率:≤3.0nm@30kV; 2. 离子镜筒:Ion-sculpture镜筒; 3. 放大倍率范围不小于:300x~500kx; 4. 束流强度范围不小于:1pA-65nA; 5. 加速电压范围不小于:0.5kV-30kV; 二、 电子束 1. 分辨率:≤0.9nm@15KV;≤1.8nm@1kV; 2. 最大束流不低于20nA; 3. 放大倍率范围不小于:20x-2000kx; 4. 加速电压范围不小于:0.5kV-30kV; 三、 样品室及马达台系统 1. 样品室内部尺寸不小于330mm(宽)?330mm(深)?270mm(高); 2. 六轴高精度超优中心全自动马达样品台:样品台XY方向移动范围不低于100mm,Z方向移动范围不低于10mm,倾斜角度T范围不小于-4°到60°,旋转角度R=360°; 3. 样品预交换室:可放置样品最大尺寸不小于80mm; 四、 电子束曝光 1. 设备连接后,保证可实现将电镜切换成外部扫描模式; 2. 通过图形发生器设定写场,同时扫描图像后保证图像水平和垂直方向正确; 3. 通过图形发生器实现控制束闸的开关; 4. 通过图形发生器实现扫描电镜和其工作台的远程控制; 5. 使用标样对写场进行校准;
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  • 主要学科领域:自然科学相关工程与技术
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  •  服务内容:原位失效分析,定点投射样品制备,三维重构等方面
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  •  用户须知:无
已测试 36 次 平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意
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