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数字全息显微镜
主要功能：1. 全视场、非扫描、非接触光学无损测量，可记录样品的二维、三维、四维形貌，超高速记录动态三维形貌（即四维形貌），高速相机速率达190帧/秒。 2. MEMS振动四维测试，最高频率可达25MHz，无需扫描，同时测量面内和面外振动，面内振动最小可测1nm，面外振动最小可测0.5pm。 3. 双激光源独立或同时使用，同时使用可增加动态测试的纵向范围，根据ISO国际标准实时测量样品表面粗糙度。 4. 专用数据采集分析软件，供在线分析或试验后分析，提供包括实时二维/三维/四维形貌、粗糙度分析、相位实时监控、数字聚焦、视频编辑输出等多种功能。 5. 专用MEMS振动数据处理分析软件，供面内、面外振动跟踪，X、Y、Z三轴位移、速度、加速度分析，边缘和图形自动跟踪，多器件阵列分析，自动提取振动模态，谐振分析，频域分析等多种功能。
主要技术指标：1. 测量模式：675nm，794nm，单光源或双光源模式用户可选； 2. 高速CCD相机：190帧/秒，1024x1024像素； 3. 垂直分辨率：0.30nm（单光源测试）； 4. 动态可测垂直高度：连续结构100μm； 5. 动态可测台阶高度： 最高 2μm（双光源测试）； 6. MEMS周期振动频率：最高25MHz； 7. 面内振动：最小可测5nm（40x物镜）； 8. 面外振动：最小可测0.5pm； 9. 电动样品台：移动范围100mmx100mmx38mm； 10. 垂直校准：取决于干涉仪光纤，误差小于0.1nm； 11. 横向分辨率：最低为500nm（40x物镜）； 12. 视场：取决于物镜，从165μmx165μm到1.3mmx1.3mm； 13. 数字自动聚焦范围：取决于物镜，最高可达景深的40倍； 14. 最小试样反射率：1%； 15. 样品照度：最低为1μW/cm2。
主要学科领域：工程与技术科学基础学科
服务内容：1.液体环境中细胞、微型电路板、摩擦磨损样品、腐蚀样品等3D形貌观察和测量分析； 2.热板的热变形、聚合物蒸发、微型自组装、液晶弹性体等4D形貌观察记录； 3.2D材料的形变，例如：石墨烯、薄膜材料等； 4.文件、字体等司法鉴定； 5.惯性传感器、悬臂等振动测试分析。
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钨灯丝扫描电子显微镜
主要功能：采用多接口的样品室和物镜设计，提供真空成像功能，可对各种材料表面作分析
主要技术指标：图像电平移：±50µm放大倍数：5×~1000,000×，连续可调
主要学科领域：机械工程
服务内容：采用多接口的样品室和物镜设计，提供真空成像功能，可对各种材料表面作分析
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塞贝克系数扫描探针显微镜
电导率-塞贝克系数扫描探针显微镜
主要功能：热电性能测试/分析测试
主要技术指标：最小位移步长≤1μm；最大扫描区域：100mm×100mm；位置分辨率1μm。
主要学科领域：电子与通信技术
服务内容：电导率、塞贝克系数测试
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半自动手动探针台
主要功能：探针台具备支持直流/高频段射频微波测试、测试精度高、准确重复性好、系统集成能力强、性价比高等特点，能满足本项目对IV\CV及高频到110GHz RF特性测试的要求。
主要技术指标：1.载片台 1.1载片台尺寸不小于Φ210mm，可支持晶元、芯片及单器件进行IV/CV测试，RF测试，RF最高可升级支持1.1THz频率测试。 1.2 载片台支持器件尺寸，晶元Φ50mm-Φ200mm，单颗器件最小尺寸4mm*4mm。（最小器件正常都是正方形） 1.3 包含两个独立辅助载片台，尺寸不小于25mm*25mm,平坦度≤±5μm。 1.4 载片台采用完全独立的真空孔吸附，可分区吸附样品，并具备不少于4档分区独立真空控制开关。 1.5 xy方向移动范围：≥25×25mm，分辨率≤1μm，包含千分尺精细调节方式。 1.6 Y轴取放片行程≥90mm 1.7 Z轴可调范围0-20mm，调节分辨率＜1.0μm 1.8.载片台360°旋转，精细调节范围≥±5° 2.针座平台 2.1针座平台材质采用不锈钢，表面镀镍。 2.2平台至少可容纳4个射频针座或者8个直流针座。 2.3平台可升降，z方向可移动范围：0-3mm。 2.4扎针一致性好，操作重复性≤1μm 2.5 Z方向接触分离高度小于等于300μm 2.6 兼容keysight/VDI/R&S等主流扩频模块。 3.显微镜系统 3.1采用单筒式高分辨率显微镜，含LED同轴光源 3.2 变焦比：不小于3.3x 3.3放大倍率范围不小于1.25-15倍，光学分辨率不小于1.6μm，综合放大倍率不小于400倍。 3.4 显微镜XY方向可独立移动，移动范围≥50mm×50mm，Z方向移动范围不少于140mm高度，显微镜支架采用高稳定桥式支架。 3.5 含高清CCD， 像素≥500万，配到连接CCD的显示器，可以实现图像的截屏、翻转、颜色处理等功能。 4.探针座、探针、光纤夹具及电缆 4.1 包含4套直流探针座，采用磁性吸附设计，XYZ方向行程均≥12.5mm 4.2 包含4套射频探针座，2套最高可兼容110GHz，两套最高可兼容67GHz。采用磁性吸附设计，XYZ方向行程均≥12.5mm。 4.3包含2根WR-10波导管。 4.4包含2根WR-15波导管。 4.5包含直流探针4盒，每盒25根，针尖半径7μm 4.6提供配套的探针及校准片。2根射频波导探针为75-GSG-100-BT，2根射频波导探针为120-GSG-100-BT，射频探针的信号排布为GSG。 4.7提供定制光纤夹持器，光纤角度可调节，兼容探针台及探针座。 4.8包含2组扩频模块连接套件，支持同轴或波导连接方式，可通过针座控制XYZ移动，X/Y/Z方向移动范围≥25mm/25mm/15mm，且扩频模块连接套件必须能够搭载扩频模块和探针一起实现Theta的旋转调整 5.屏蔽防震系统 5.1 屏蔽箱可以实现遮光、EMI屏蔽、高低温温控，防止静电噪声对测量的影响。 5.2 EMI屏蔽性能：≥30dB(typical)@1kHz to 1MHz 5.3 光衰减性能：≥130dB 5.4 光谱噪声基底：≤-180dBVrms/rtHz(≤1MHz) 5.5系统交流电噪声 ≤ 5 mVp-p (≤ 1 GHz) 5.6屏蔽指标是对应的机型。 6.校准软件 6.1 配置同品牌专业的校准软件，可以实现独有的1、2、3、4端口校准，和即时的、实时的数据测量和观察。 6.2 支持slot等形式的多线路TRL校准。 7.正压干燥系统及真空泵 7.1系统带有无油涡旋（非活塞式）进口空气压缩机，外形尺寸≤1275mm*700mm*1450mm(包含储气罐)；排气量≥0.17m3/min、工作压力≥8bar、噪声≤53dB(A)，含有冷却系统，储气罐含量≥270L。 7.2 系统采用进口膜式多级过滤干燥机，外形尺寸≤380mm*81mm；处理量≥0.14 m3/min、工作压力≥1.3bar、压力露点≤-20°C、出口粒子≤0.01微米、出口含油量＜0.001mg/ m3、重量≤5kg。 7.3 提供无油免维护真空泵，空气流量达120L/min，噪音不超过60dB。 8.气浮式光学隔振平台。 8.1隔振平台尺寸不小于1000mm×900mm×100mm，采用不锈钢面板，阵列25mm×25mm M6螺孔。 8.2 提供无油空压机一台，减压阀一支。
主要学科领域：自然科学相关工程与技术
服务内容：涉及电力电子、新能源、通信等多个领域的研究。
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