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双面光刻机

主要功能：紫外曝光制备光刻胶掩膜
主要技术指标：最小曝光线宽1μm，支持8英寸和6英寸晶圆正、背面对准光刻。
主要学科领域：机械工程
服务内容：最小曝光线宽1μm，支持8英寸和6英寸晶圆正、背面对准光刻。
用户须知：

已测试 6 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

单晶炉

主要功能：制备高纯4英寸/6英寸碳化硅单晶
主要技术指标：1）加热器最大加热功率∶ 30 KW； 2）最高加热温度∶ 2600℃；3）温度自动调节相对偏差∶<±0.5℃ 4）极限真空度∶<9.0×10 -6mBar）压力稳定性∶<±0.1 mBar（0-10mBar）
主要学科领域：物理学
服务内容：制备高纯4英寸/6英寸碳化硅单晶
用户须知：

已测试 11 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

无油真空系统

主要功能：用于电子真空器件及半导体器件制备时的抽真空和烘烤除气
主要技术指标：1、系统内极限真空度：5×10-8Pa； 2、真空室极限真空度：5×10-5Pa；
主要学科领域：电子与通信技术
服务内容：用于电子真空器件及半导体器件制备时的抽真空和烘烤除气
用户须知：精密设备需提前使用需求

已测试 32 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

193nm激光剥蚀系统

主要功能：为ICPMS分析提供气体进样系统
主要技术指标：1．激光源 1.1 193nm空气冷却气态准分子激光源，激光源寿命不少于5亿次 1.2 脉冲宽度： 20ns； 1.3 脉冲稳定性：<2%； 1.4 能量密度：1-45 J/cm2； 1.5 剥蚀频率：1-20Hz； 1.6 剥蚀模式：四种激光剥蚀模式可以任意切换，Single Shot, Burst, Continuous, fixed dosage四种模式； 1.7 剥蚀斑点尺寸：2 um to >175um 1.8 光斑：不少于30个剥蚀光斑可选，其中包括不少于20个圆形光斑，6个方形光斑和4个狭缝光斑。通过软件选择不同斑点，并且能够在剥蚀过程中进行不同斑点更换； 2．激光系统 2.1 软件控制激光能量输出，连续调节光学衰减器调节激光能量，最大100%输出； 2.2 内置激光能量监视器，PID实时闭环监控能量输出； 2.3 光路传输图： 2.3.1 电磁阀和软件控制氮气吹扫光路，能够自动关闭； 2.3.2 简单的光路传输路线（up，over and down）插入“转向”镜，可精确准直光路；无需更换光学镜片； 2.4 同步动态剥蚀功能：控制台优先的同步触发，能够控制击发能量和线和点阵的深度剥蚀扫描； 2.5 动态光束匀化器：平整的剥蚀坑，能量损失小； 2.6 光学衰减器：连续可调光学衰减器，可以柔和调节激光能量1-100%； 2.7 激光系统一键充气保护； 3．视频光路 3.1岩相学高倍视频显微镜系统： 3.1.1 48X 连续可调的缩放的GigE vision接口彩色高倍摄像机系统； 3.1.2 观察系统光学分辨： <2um； 3.1.3激光同轴视频观察系统，能够使用十字交叉偏振系统反射照明光，达到自由无失真观察； 3.2 照明：软件调整同轴，透射和泛光照明三光源，标配消除色差装置； 3.3 偏振系统：旋转十字交叉偏振系统； 3.4 系统可以升级为飞秒激光剥蚀系统； 3.5 更换样品后，可以生成多个样品导视图动态图层，并可以激活/隐藏任意图层，便于快速引导分析。 4．取样系统 4.1 样品台X-Y轴参数：行程100mm X, 100mm Y；步进分辨率<1um； 4.2 样品台 Z 轴参数：行程50mm Z，步进分辨率<0.1um； 4.3 可选样品室切换模式：静态，动态（同步动态剥蚀功能）； 4.4 样品台：预防震动的减震装置，避免环境/温度变化对光路影响，具有超级稳定的光路结构； 4.5 系统支持同步动态剥蚀功能（mapping功能），样品台移动对激光提供两种触发方式，静态 STATIC 和动态 DYNAMIC触发激光； 5. 系统支持多种样品池（双气路双体积样品池，扁平大体积样品池，超低温样品池，高真空样品池） 5.1 标配双体积（大样品池+小剥蚀池）样品池； 5.1.1 双体积样品池，尺寸不小于100mm*100mm方形，冲洗效率1Hz时<1S内达到0.10%，或者<0.25S内达到1%； 5.1.2 池内能够同时放置4个薄/厚样品，另外2个标准品或者9个直径1英寸圆形样品和2个标准品，支持用户自行设计样品载物台； 5.1.3 样品池包含10通道squid滤波配件； 5.1.4 样品池吹扫可单独（或同时）用He，Ar，内置真空泵抽气； 5.1.5 大样品窗内侧具有自清洁功能，无样品污染； 5.1.6 剥蚀池具有独立的样品窗，防止样品外溢到大样品池内
主要学科领域：地球科学
服务内容：
用户须知：

已测试 33 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

无液氦综合物性测量系统

主要功能："PPMS系统是在一个控制的低温和强磁场平台上，集成全自动的磁学、电学、热学等各种物性测量手段。这样的设计使得整个系统的低温和强磁场环境得到了充分的利用；一个PPMS系统由基本系统和各种测量和拓展功能选件构成：基本系统提供低温和强磁场的环境，以及整个系统的软硬件控制中心；用户在基本系统平台的基础上选择自己感兴趣的各种测量选件和拓展功能选件。对于绝大多数常规实验项目，PPMS已经设计好了全自动的测量软件，和具有标准测量功能的硬件，如交直流电阻率、磁电阻、微分电阻、霍尔系数、伏安特性、磁滞回线、热磁曲线、比热等等。 PPMS system is a controlled low temperature and high magnetic field platform, the integration of automatic magnetic, electrical, thermal and other physical property measurement means. This design makes full use of the low temperature and strong magnetic field environment of the whole system; A PPMS system consists of the basic system and a variety of measurement and extension function options: the basic system provides a low temperature and high magnetic field environment, and the software and hardware control center of the whole system; On the basis of the basic system platform, users can select various measurement options and extended function options that they are interested in. For the vast majority of conventional experimental projects, PPMS has designed fully automated measurement software and hardware with standard measurement functions, such as AC-DC resistivity, magnetoresistance, differential resistance, Hall coefficient, voltammetry characteristics, hysteresis loops, thermomagnetic curves, specific heat, and so on."
主要技术指标："1.温度范围:1.8 -400 k; 2.温度稳定性:±0.1% (T < 20 K)，±0.02% (T > 20 K);(典型的); 3.温度精度:±1%; 4. 冷却时间:40分钟(典型;时间从300k稳定到1.9 K); 5. 磁场范围:±9T; 6. 场均匀度:9 T:轴上3cm±0.01%; 7. 最大现场充电速率:9 T: 200 Oe/s; 8. 最小现场充电速率:9 T: 0.1 Oe/s; 9. 高真空:< 0.1 mTorr; 10. 测量选项:交流电阻(ETO)，直流电阻，水平旋转杆，高压电输运，振动样品磁强计(VSM)， VSM高温选件，高压磁性，扭矩磁力仪，比热容，热输运(TTO)，稀释制冷机选件，多功能样品杆。 1.Temperature Range: 1.8-400K; 2.Temperature Stability: ± 0.1% (T < 20 K), ± 0.02% (T > 20 K); (typical); 3.Temperature Accuracy: ± 1%; 4. Cool Down Time: 40 minutes (typical; time to stable 1.9 K from 300 K); 5. Field Range: ± 9 T; 6. Field Uniformity: 9 T: ± 0.01% over 3 cm on-axis; 7. Max Field Charging Rate: 9 T: 200 Oe/s; 8. Min Field Charging Rate:9 T: 0.1 Oe/s; 9. High Vacuum: < 0.1 mTorr; 10. Measurement Options: AC Resistance (ETO), DC Resistance, Horizontal Rotator, Pressure Cell (Transport), Vibrating Sample Magnetometer (VSM), VSM Oven, Pressure Cell (Magnetometry), Torque Magnetometry, Heat Capacity, Thermal Transport Option (TTO), Dilution Refrigerator, Multi-Function Probes."
主要学科领域：材料科学
服务内容："PPMS系统是在一个控制的低温和强磁场平台上，集成全自动的磁学、电学、热学等各种物性测量手段。这样的设计使得整个系统的低温和强磁场环境得到了充分的利用；一个PPMS系统由基本系统和各种测量和拓展功能选件构成：基本系统提供低温和强磁场的环境，以及整个系统的软硬件控制中心；用户在基本系统平台的基础上选择自己感兴趣的各种测量选件和拓展功能选件。对于绝大多数常规实验项目，PPMS已经设计好了全自动的测量软件，和具有标准测量功能的硬件，如交直流电阻率、磁电阻、微分电阻、霍尔系数、伏安特性、磁滞回线、热磁曲线、比热等等。 PPMS system is a controlled low temperature and high magnetic field platform, the integration of automatic magnetic, electrical, thermal and other physical property measurement means. This design makes full use of the low temperature and strong magnetic field environment of the whole system; A PPMS system consists of the basic system and a variety of measurement and extension function options: the basic system provides a low temperature and high magnetic field environment, and the software and hardware control center of the whole system; On the basis of the basic system platform, users can select various measurement options and extended function options that they are interested in. For the vast majority of conventional experimental projects, PPMS has designed fully automated measurement software and hardware with standard measurement functions, such as AC-DC resistivity, magnetoresistance, differential resistance, Hall coefficient, voltammetry characteristics, hysteresis loops, thermomagnetic curves, specific heat, and so on."
用户须知：

已测试 19 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

精密实验玻璃水槽

主要功能：可进行剖面二维及三维流场测量，同时可测量整个区域内的瞬时流速场，在高速采集频率下，亦可从微观尺度上研究紊流及层流的运动机理。三面可透的玻璃结构水槽，配备三维激光多普勒测速仪、高速摄像机与高速三维PIV流场测试系统等仪器设备，解决微观尺度的波浪变形、软土海岸保护等基础研究课题，包括波浪破碎水气掺混等湍流问题的基础研究，可以真实、直观、全方位的再现流体的运动和作用过程，支撑海洋工程研究工作。
主要技术指标：水槽长25m，宽0.6m，高0.5m，变坡0.5%（精度≤±0.1mm），最大水深0.4m，最大流量180L/s，造流精度≤0.02m/s，配有高分辨率PIV系统。
主要学科领域：自然科学相关工程与技术
服务内容：可进行剖面二维及三维流场测量，同时可测量整个区域内的瞬时流速场，在高速采集频率下，亦可从微观尺度上研究紊流及层流的运动机理。三面可透的玻璃结构水槽，配备三维激光多普勒测速仪、高速摄像机与高速三维PIV流场测试系统等仪器设备，解决微观尺度的波浪变形、软土海岸保护等基础研究课题，包括波浪破碎水气掺混等湍流问题的基础研究，可以真实、直观、全方位的再现流体的运动和作用过程，支撑海洋工程研究工作。
用户须知：

已测试 5 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

显微式激光测振仪

主要功能：通过非接触，数字显微和目前测量动态特性及振动精度最高的激光多普勒测振原理，快速，高效，精准获得压电片的区域振动数据，除了传统二维数据的曲线描述和分析，还可以通过模态动图方式更直观表现，解决传统电测方法不可视，精度低，没有过程数据无法进行研究等问题。
主要技术指标：速度量程范围： 1~10000 mm/s。可依据结构的振动强烈来选择合适的量程；分辨率：
0.005µm/s 激光聚焦方式：自动；可进行三维振动扫描测量。
主要学科领域：材料科学
服务内容：快速，高效，精准获得压电片的区域振动数据
用户须知：

已测试 22 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

纳米材料试验系统

主要功能：仪器的测试性能、精度和适用性均达到国际先进水平，可满足多种应用或行业的试验需求，如纺织、生物医疗、汽车、电子、塑料、金属、复合材料、弹性体、航空航天等。
主要技术指标：1）100KN、1 kN、10N传感器；2）高低温试验箱：-100~350℃ ；3）高温炉：200~1050℃
主要学科领域：材料科学
服务内容：仪器的测试性能、精度和适用性均达到国际先进水平，可满足多种应用或行业的试验需求，如纺织、生物医疗、汽车、电子、塑料、金属、复合材料、弹性体、航空航天等。
用户须知：

已测试 18 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

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