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- 主要功能:用于MEMS, BioMEMS, Micro Optics, ASICs, Micro Fluidics, Sensors, CGHs和其他微观研究领域。
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- 主要技术指标:刻写最大面积 200 x 200 mm2 ,焦距离达到 0.6 µm ,•最小分辨距离50 nm。
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- 主要学科领域:物理学
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- 服务内容:刻写微纳光学器件,用于MEMS, BioMEMS, Micro Optics, ASICs, Micro Fluidics, Sensors, CGHs和其他微观研究领域。
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